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镀Ti／Ni膜蓝宝石与无氧铜钎焊的研究 高殷张永清王艳金鹤续强 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室北京 100190 摘要：为了可以采用常规的BA972Cu．V钎料完成蓝宝石与无氧铜的连接，本研究先在蓝宝石表面镀钛 ，镍(Ti／Ni)复合膜，然后进行高温预扩散处理，最后将镀Ti／Ni膜蓝宝石与无氧铜在真空炉中进行钎焊。 本文介绍了蓝宝石镀膜、扩散及焊接工艺，对镀n膜蓝宝石及镀Ti／Ni复合膜蓝宝石在高温预扩散前后 分别进行了扫描电镜分析(SEM)和x射线衍射分析()a王D)，说明蓝宝石镀Ti／Ni膜扩散后的性能将 优于仅镀Ti膜，并通过对焊接接头的微观分析发现高温预扩散的优势。 关键词：蓝宝石，镀Ti／Ni复合膜，高温预扩散，钎焊 引言 输出窗作为微波器件的关键部件之一，担负着真空密封及能量输出的任务。目前普通微波管多采用 氧化铝陶瓷作为输出窗片材料，因为其具有工艺成熟、产品质量稳定及价廉等优点。但是随着微波器件 向高频、大功率、毫米波方向发展，氧化铝陶瓷窗片的高频损耗己成为阻碍器件进一步发展的一个重要 和金刚石等材料来减小由于功率和频率提高导致损耗增加的影响。但是Si02导热性能较差；BN的制备 较难，而且热导率不高、介电损耗偏大及强度太低；AIN的介电常数及介电损耗相对偏大；BeO的毒 性较大，现在许多国家已经立法禁止BeO的生产和使用；而金刚石各项性能均比其他材料优良，尤其 是其导热性能，但它昂贵的价格和国内研制生产技术发展状态都使我们难以考虑立即采用11-3]。蓝宝石 与氧化铝多晶陶瓷窗片相比，具有更高的强度、更宽的微波波段、更低的微波吸收以及良好的抗辐射损 伤性能，并且与金刚石相比还具有低成本的优势。因此就窗片综合性能而言，蓝宝石窗片被认为是目前 高能输出窗的最佳材料。目前在欧洲运行的电子回旋共振加热(ECRH)系统，所采用的峰值功率为 0．5MW、频率为118GHz的高功率回旋管，使用的就是蓝宝石微波输出斜4’5|。 由于蓝宝石属于高纯陶瓷材料，与金属的各项性能参数存在很大的差异，而且蓝宝石系单晶材料， 没有晶界，内部不存在玻璃相，这些都使得蓝宝石窗片与无氧铜窗框的连接变得十分困难。本研究的目 的是为了解决此问题，并采用常规的BA972Cu—V钎料实现蓝宝石与无氧铜的连接。该工艺方法是先在 蓝宝石表面镀钛／镍(Ti／Ni)复合膜，然后进行高温预扩散，最后采用BA972Cu-V钎料进行焊接。在蓝 宝石表面首先镀Ti膜，是因为Ti是活性金属，对陶瓷等有很好地润湿性【6J。但是金属钛活性太大，即 使在常规高真空中加热也会被氧化17J。因此，在Ti膜上再镀一层Ni，可以防止镀Ti层的氧化。进行高 温预扩散处理的目的是使镀膜金属先与陶瓷基体发生充分的界面反应，以利于下一步的焊接。 1试验方案 1．1材料选择 本试验材料是由上海艾敦光电子材料有限公司生产的光学级蓝宝石晶体，轴向与C轴夹角小于3。， rnmX3．56mmX 漏气率为10—Pa·m3／s，尺寸为7．12 2mrn。该蓝宝石在镀膜前使用玻璃酸洗液和超声波 清洗。 1．2加弧离子镀 采用加弧离子镀的方法将蓝宝石表面镀Ti膜及Ti／Ni复合膜，该方法是一种使用金属靶将金属离子 以气态形式沉积到工件表面而形成牢固金属化膜的一种物理气相沉积技术，它具有低温金属化、沉积速 度快(通常是1-501am／min)、附着力强、绕镀性好等特点【8】。 1．3高温预扩散 将镀Ti膜蓝宝石及镀Ti／Ni复合膜蓝宝石包镍皮置于真空加热炉中进行高温预扩散处理，当炉内真 温至300℃，并随炉冷却至室温。其工艺曲线如图l所示。 810 j、2：苦k。dE。1 图l高温预扩散工艺曲线图 1．4焊接 将酸洗过的无氧铜、厚度为5001ma的BA972Cu—V钎料片、镀膜蓝宝石按图2进行组装。将组装好的 样品放入真空加热炉中，当炉内真空度数量级小于10。4Pa时进行如图3的加热、保温并冷却过程，焊接 温度为815℃，保温时间为3min。 rL a D几¨妙