静电拉伸薄膜反射镜的研究--毕业设计.docVIP

第1章 引 言 1.1 课题研究背景及意义(如几十到几百米)光学系统对反射镜的要求。虽 2013 年升空的“韦伯”望远镜）。但是合成孔径反射 1.1 空间薄膜反射镜技术的发展和分类/可折叠、材料成本低、成形自由度大、可变焦距等，可以解决火箭运载对有/真空式、静电式/电磁式、吊装式、液体式、面形扫描驱动 1.1。 图 1.2 利用薄膜反射镜对北京进行空间照明的“不夜城”设想图 1.2 为利用薄膜反射镜的聚光1.2 空间薄膜反射镜发展综述/真空式薄膜反射镜 1.3 Echo I 充气模型 图 1.4 IAE 充气天线在轨实验/真空式薄膜反射镜是利用充气气压或真空负气压使薄膜成形的一种1960年 8月美国 NASA 使用镀铝的聚酯薄膜制作了一个 31m 直径 62Kg 的充气圆EchoI），能够在地球各个区域进行反射无线电通讯,如图 1.3。受制于发射/展开技术快速发展，充气1964 年发射的口径为 41m 的 EchoⅡ型天线采 Echo I 的长时间使用的变形问题而作为通讯卫Echo 型天线寿命极短，上世纪 60 年代底即被主动控制技1996 年美国 NASA 充气天线（IAE）在轨实验成功后（图1.4 1.5-1.6），但由于成形精1.5 1998 年加拿大利用激光系统检 图1.6 苏格兰斯特拉思克莱德大制的真空式 1.2m 薄膜反射镜/电磁式 1.7 美国 NASA 4.88m 静电薄膜反射镜 1.8 亚利桑那大学 160mm 静电薄膜反射镜1978 年 6 月美国麻省理工学院为了研制大口径、轻质、高精度空间反射天1979 年，美国 NASA 进行了一个 4.88m 的多 1.7）但受制于大面积薄膜制备技术2000 年，美国亚利桑 6 英寸、曲率 32m、平面反射镜中心四英寸范围内的面误差可达到 λ /20的静电薄膜反射 1.8。此外，美国科学SRS Technologies）进行了大型薄膜反射镜及可展结构的研究，取得了 1.9-1.10）。1.9 美国 SRS Technologies 公司静电薄膜反射镜原理图和实物图1.10 底网支撑式曲面电极拼接1.3 静电薄膜反射镜研究现状W”曲线样式） 1.2 节可以得知，国外在静电薄膜，中科院长春光机所和苏州大学是中国唯一两家相关研究单位，大 2006 年以后。两家共发表学术论文 17 篇，相关研究内容主要 1 篇、成形 10 篇、面形仿真及光学评价 1 篇、边界条件及成形模拟 4 篇、 1 篇。关于成形机理和试验分析的 10 篇文献中，关于均布载荷下 8 篇；而且所有实验分析都是基于均布载荷作用下的初步[9]中和文献[]、[]中，基于聚酯薄膜的预成形技 1.2.1 小节中关于预成形技MEMS里的静电驱动式可变形镜技术做一下对比。目前国(一100mm)和小变形(和反射镜膜厚相当)问题；③控制电极数目较多④成形v为电极板和薄膜之间的电压；d为电极板和薄膜之间的距离； 为真空的介电常数。由上面两公式可得到薄膜反射镜面形满足下式所示的泊松方程2.2 主动控制影响因素分析2.2.1电极电压，而且电极之间存在耦合影响作用， 1、平面薄膜成理想面形（抛物面）所需的连续载荷分布求解模型和求解精度2、连续载荷分布对应的离散电场分布求解精度2.2.2预应力[12]。而对于没有结构刚度的柔性薄膜，预应力可以使柔性薄膜获得成形所需的刚度，同时预应力施加可以弥补电极电压调节对面形的控制作用。根据齐迎春博士论文可知： （1）预应力越大，则薄膜抗弯刚度越大，达到同样变形所需的轴向载荷也 （2）预应力越大，计算面形与理想抛物面越接近，但反射镜的波前也越大。 3）预应力增大，慧差稍有增大，像散减小，高级球差增大，可通过薄膜 由此可见预应力对于静电薄膜反射镜的面形精度的调节和控制来说十分重 要。 2.2.3吸附不稳定性2.2.4薄膜吸附临界变形量的估计[14]，二维多自由度离散分析模型[15]等。从所得的吸附临界电压对比来看，一维线性所得吸附电压值最小，而且允许的最大稳定变形量最小。根据现有的实验条件和实验目的，本文采取一维非线性分析模型进行吸附临界电压和允许的最大稳定变形量的求解计算，以达到安全试验的目的。 电容模型下平板固定，上平板竖直连一弹簧来模拟薄膜变 （2-4） 其中k 为薄膜等效线性刚度，d 为初始膜极距，w为薄膜竖直变形量，U 为加空介电常数。 可得关于薄膜变形量w的一个一元三次方程，如式 2。 （2-5） 解得 w 0时 d 有三个实根；w =0时d有三个实根，至少两个相同；w0只能d归一化后，时，临界吸附电压为时， w1= w2=1/3，因此稳定成型区间为膜极距的三分之一。 对静电薄膜反射镜的动态吸附进行控制，是能够