同质外延单晶CVD金刚石研究进展.pdfVIP

下载本文档

11
0
约4.72万字
约 8页
2017-09-01 发布于安徽
举报
版权申诉

同质外延单晶CVD金刚石研究进展.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

2011 年 8 月第 4 期金刚石与磨料磨具工程 Aug． 2011 第 31 卷总第 184 期 Diamond ＆ Abrasives Engineering No． 4 Vol． 31 Serial． 184 文章编号: 1006 － 852X( 2011) 04 － 0015 － 08 * 同质外延单晶 CVD 金刚石的研究进展朱金凤满卫东吕继磊匡巧汪建华 ( ， 430073) 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室武汉摘要金刚石因具有诸多优异的物理化学性能而使其在很多领域都有非常广阔的应用前景。CVD 法高、。、速合成大面积高质量单晶金刚石一直是人工合成金刚石的研究热点之一本文首先从基底预处理生 MPCVD ，长参数的优化以及合成工艺的改进这三个方面综述了同质外延单晶金刚石的研究进展其次对 CVD ， CVD 国内外外延单晶金刚石的研究进展进行了简单的介绍最后对法合成单晶金刚石的发展方向进行了展望。关键词单晶金刚石; 化学气相沉积; 同质外延; 生长速率中图分类号 TQ164 文献标识码 A DOI 编码 10 ． 3969 /j ． issn． 1006 － 852X． 20 11． 04 ． 004 Progress of homoepitaxial CVD single-crystal diamond technology Zhu Jinfeng Man Weidong Lv Jilei Kuang Qiao Wang Jianhua ( Provincial Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials ，Wuhan Institute of Technology ，Wuhan 430073 ，China) Abstract Owing to its various excellent physical and chemical properties ，diamond has great potential in many areas． Therefore ，the synthesis of diamond ，especially the synthesis of single crystal diamond of high quality and large area at high speed ，has become a focus． This paper firstly reviews the development of homoepitaxial single crysta