槽型衍射光栅结构参数优化设计的研究.pdfVIP

30 11 V o l. 30, N o. 11 20 10 11 ACTA OPT ICA SIN ICA Novem ber, 20 10 : ( 20 10) 113 13307 槽型衍射光栅结构参数优化设计研究 樊叔维 周庆华 李 红 ( , 710049) , , ; , , , 90% , , ; ; ; ; O 436. 1 A doi: 10. 3788 /AO 3133 Research of Optim ization Design of Groove Diffraction