基于单片机AFM纳米机械性能测试系统28554.pdfVIP

第 16 卷 　第 7 期 　 光学 精密工程 Vol . 16 　No . 7 2008 年 7 月 　 　 　　　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 J ul . 2008 ( ) 文章编号 　1004924X 2008 基于单片机的 AFM 纳米机械性能测试系统 1 ,2 1 2 2 2 2 闫永达 ,费维栋 ,胡振江 ,程相杰 ,孙 　涛 ,董 　申 ( 1. 哈尔滨工业大学 材料与工程学院 , 黑龙江 哈尔滨 15000 1 ; 2 . 哈尔滨工业大学 机电工程学院 , 黑龙江 哈尔滨 150