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04第四章平面和球面样板的检验.doc

平面和球面样板的检验 首先是从浮在水面的博层油膜上观察到干涉彩色带,美国的光学工作者通常称他为“条纹”,而在英国则称它为“牛顿环”或“环”。 带有两个光学面的球面样板放在透镜上,便产生条纹。干涉条纹象浮在水面上的油层一样,在透镜表面上扩展开来。本章讨论用干涉条纹对平面进行检测。 这类检测颇为困难,因为玻璃表面在手工抛光时会产生各种带区误差。仔细地分析工件,并了解工件的表面状态对操作者来说是很重要的。一般光学 表面上有两种明显的误差,应寻找最差,并首先修正最高的带差。 1、仪器 光学车间里要用到多种反射型观察器。最通用的是直接反射观察器,主要部分由这样、置于黑箱中的反射平板玻璃主成。不带罩的荧光管放在高级皮纸或纸薄膜(见图4.1),可以 在大于十倍工件直径的距离处检验工件。对于直径7——10in的大尺寸3工件的正确观察距离应位于离条纹15倍直径以上的地方。 现在许多光学车间用平面干涉仪检验光学平面工件。这类仪器的投资会很快得到效益。光学抛光面不会因戳伤、擦伤、划伤而损坏,因为学平晶不直接接触工件,因而也无法定出接触点。只要压一下目镜,在两个平面间的光和就缩短了。水总是向低处流,干涉条纹也是这样,所以很容易定出凸面的发散点和凹面的会聚点。 让我们了解一下检验光学平面的干涉计量法的一些情况。车间平晶可以周期性地用一块标准平晶进行检验。,车间必须适用于检验不同大小学平面工件的各种尺寸与重量的车间平晶。用大平晶检验小型 棱镜和其它小型工件是 图4-1 不适宜的。 2、干涉条纹的判读 判断平面是的还是的必须遵循一些基本规则。当一块检验平晶置于另一块平面上时,就会形成接触点和空气尖劈。例如 一块平晶放在圆 柱形表面 或马鞍形玻璃表面上形成两个接触点;一块平晶放在上在面中央形成一个接触点。两个表面 间的空气尖劈的厚度决定其倾斜度。一个手指压在平面样板上能改变尖劈的位置,一个手指压地平面样板上能改变尖劈的位置,但接触点就在加压点上。 这就得出如何判别的要点。如果条纹曲线向玻璃表面受压点移动,它就是面或低的。同理,如果移开受压点,就是 面或高的。每一个受压点都可检验工件;当平面样板受压时, 条纹会回到原接触点。 轻微的 面或其它不规则性的出现会产生不同的条纹图形。明显的玻璃表面带区误差有如图所示,显然,带区误差可以出现在任何直径上,这些典型的球形条纹图形仅仅是代表性的例子。 把样板放在光学表面上时,要注意以下几点:表面 要用柔软而光滑的毛巾擦净,然后用毛刷除去大尘粒和毛巾纤维物,再把样板并轻轻放上,以防意外事故。 图4-2 其它一些不同的条纹图形见图,有一种是既有面又有面的球形象散表面。这种表面大部分 图4-3 是由于在 抛光模上修正棱镜的角度时施力集中 于一点而产生的。 图4-4 另一种象散表面是马鞍形,它常在薄 型未然学平面和球面工件上产生。这时是指有两个或四个接触点或高边。如果有两个接触点,一处是面、另一处是 面(常见于矩形工件)。 4-5。 图4-5 干涉仪尺寸范围直径为2-12in。图4-6是一种简单价廉的平面干涉仪。平透镜的材料 是经过精选的无条纹的玻璃陶瓷或石英。如果只有细小条纹进入观察视野,则可 忽略之。透镜焦比大约为f/6.0其光路一块 图4-6 或两块光学平面反射镜折叠组成一种紧凑的系统。 4、教学上使用的检测面形的莫尔条纹 学习如何根据干涉条纹判断表面质量对于初学的学学技术人员来说是有一定困难。众所周知,单色光源在两个平面或互配的两 个球面上将产生牛顿环和干涉 条纹。而非光学元件用一个简单的光学装置可以获得莫尔条纹。 图4-7为罗契光栅测量表面面形的简单结构图,即在打开的书的不同倾斜。可 以看到, 面的倾斜区在书脊下, 面倾斜区在翻动书的一边。 非接触的光学方法产生莫尔条纹的应用为物理实验室提供了一个向学生演示光干涉的某些性质的实验。 装置中观察到的莫尔条纹是由直线型 罗契光栅检验圆柱偏斜而形成,圆型莫尔条纹与牛顿环相似,它由圆光栅检验带有象散形状的圆型轮廓所形成。 对于位置1,罗契光栅放在书脊附近明显的 面上,用铅笔的橡皮头压在光栅中心,手指施加压力,随着光栅受力的增加,正象水向下流一样,条纹向光栅边缘移动;对于位置2,罗契光栅放在翻动处附近的 面上,可以观察一随着该光栅中心受力的增加, 面条纹移向中心。 还可以用另一种方法来判断平晶或球面样板在 表面上构成的条纹。这种方法观察者要上下摆动自己的头,对于 面,头向下摆,条纹向内移动 ,即向光栅中心移动;头向上摆,条纹向外移动。对于 面则相反。在此光程的增减实际上是由于改变了观察点。在白光下很难观察到莫尔条纹的移动。在

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