3英寸YBCO%2fCeO-%2c2-%2fAl-%2c2-O-%2c3-双面超导外延薄膜的制备研究.pdfVIP

熊 杰 等：3 英寸YBCO/CeO /Al O 双面超导外延薄膜的制备研究 907 2 2 3 3 英寸YBCO/CeO /Al O 双面超导外延薄膜的制备研究 2 2 3 1 熊 杰，陶伯万，谢廷明，陈家俊，刘兴钊，张 鹰，李言荣 （电子科技大学微电子与固体电子学院，四川 成都 610054 ） 摘 要：采用自制的大面积四靶溅射设备，并结合基 介电常数约为26[9] ，高温下化学稳定性好、机械强度 片的调速双轴旋转，成功研制出3 英寸双面CeO2 薄 高、结构致密，是很好的缓冲材料。在整个过程中， 膜及YBa Cu O －δ (YBCO)薄膜。通过对所制备薄膜 CeO 扮演了3个