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- 2017-08-31 发布于安徽
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貌,并获得了实验样品的形貌和三维轮廓图。运用椭圆偏振仪研究钝化膜的厚度,椭圆偏振
议的基本原理口1是使一束单色光经起偏器变成线性偏振光,再经1/4波片,使它变成椭圆偏振
光入射在待测膜的面上。反射时,光的偏振态将发生变化,通过检测这种变化,便可以推算
出待测膜面的某些光学参数。
片入射在待测钝化膜上,反射光通过检偏器射人光电接收器。通过微机控制,使仪器测出处
于消光状态下的起偏角P。、检方位角雪和位相差△。并运用{殖机软件计算钝化膜的厚度。
3结果与讨论
将抛光好的316L不锈钢试样,抛光面的一半用环氧封闭,放人钝化液中化学钝化6h后,
在丙酮中浸泡,溶解去环氧,在原子力显微镜下观察,发现在钝化区与封闭区存在明显的界
面梯度,其立体形貌图如图1。
图1说明了钝化确实在不锈钢表面产生了具
‘
有一定厚度的成相膜。为了获得钝化膜的厚度,选
用椭圆偏
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