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工具技术 CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究 赵广彬，曹晓英，栾道成，陈甥怡 西华大学 摘要：采用热阴极离子镀技术，成功制备了高质量的CrN薄膜，对CrN薄膜进行了500。C一800。C的氧化实验。 用高精度天平测量其质量变化、显微硬度计测量膜层硬度、XPd)、XPS测茸膜层结构、划痕仪测量膜层与基体的结合 力等分析研究。实验结果表明：①利用热阴极离子镀技术能够制备出CrN硬质薄膜。在不同的工艺条件下，可以 制备出具有面心立方结构和密排六方结构的CrN和Cr2N混合相薄膜。最高显微硬度2300HV。②所制备的CrN膜 层与基体结合力较好，最高结合强度达到68N。③CxN薄膜在700。C仍具有较好的力学性能．且膜层与基体的结合 力较好。 关键词：CrN薄膜；热阴极离子镀；抗氧化性 中图分类号：TG711 文献标志码：A 膜、吸附的气体及毛刺等，然后在超