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薄膜热导率测量结构的研究.pdfVIP

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  • 2017-08-31 发布于安徽
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薄膜热导率测量结构的研究.pdf

    第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月 薄膜热导率测量结构的研究。 宋青林夏善红 陈绍凤 吕 耀 (中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080) 摘要提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构，其桥状薄膜的面积为800pm× 匀，可减小系统误差。实验中对0．5岫到2}tm的一系列氮化硅薄膜进行了测量，得到了薄膜热导率的尺寸效应。 关键词薄膜热导率桥状结构 A for Structure Thermal ofThinFilm MeasuringConductivity Xia Chen LvYao SongQinglinShanhongShao

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