二维MMI光分束器的研究论文.pdfVIP

第五届全国光子学大会会议论文集 第三分册：集成光学 二维MMI 光分束器的研究* 1 1,2 1 1 1 1 1 江晓清 , 孙一翎 ,唐奕 ，周强 ，李锡华 ，杨建义 ，王明华 ( 1. 浙江大学信息与电子工程学系, 杭州 310027; 2. 深圳大学工程技术学院, 深圳 518060 ) 摘 要：本文对三维集成光分束器件的研究进展进行了概述，报道了一种采用多模干涉（MMI） 自映像原理的二维MMI 光分束器件的成像特性和实验实现，二维的MMI 器件可看成两个相互 垂直、独立的一维自映像效果的相干叠加，并探讨该光分束器件在三维集成光学回路中的应用。 关键词：三维集成光学，多模干涉器件，光分束器。 0 引言 集成光分束器件为光路中光器件的互连、功率分配和高密度集成光电子学中的光互连提供了可 靠和结构稳定的方法，如Y 分叉、星形分束器，多模干涉（MMI）功分器等等。然而传统集成光分 束器件，其结构多数绝大多数是基于二维平面制作的，也就是说，它一般只能处理零维（点）或一