静电刚度式谐振微加速度计结构设计和制造.pdfVIP

第34 卷第8 期 重 庆 大学 学 报 Vol. 34 No . 8 2011 年8 月 Journal of Chongqing U niversity Aug . 2011 : 1000- 82X( 2011) 08-036-07 静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造 1, 2 2 2 2 1, 2 刘 恒 , 张凤田, 何晓平 , 苏 伟 , 张富堂 ( 1. 重庆大学 通信工程学院, 重庆 400044; 2. 中国工程物理 究院电子工程 究所, 四川绵阳 621900) : 基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度, 减少了灵敏度对结 构工艺误差的依赖性根据单梁谐振加速度计的动力学原理, 确定了输出频率与各活动结构位移 的非线性关系对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题, 提出在谐振梁刚度远大于折叠梁 刚度条件下, 可以有效的得到二者的解析关系式, 为结构设计提供了约束条件对于差分结构, 推 导了面内低阶模态方程, 提出应减少音叉梁连接端的刚度系数来减少工艺误差造成的模态扰动误 差采用ICP 干法体硅工艺, 在很少的工艺步骤下能实现高深宽比结构的流片实验测试发现结 构完整可动, 但存在同频干扰问题, 提出了高频调制开关解调的信号处理办法理论分析和实验测 试为设计新型谐振式微加速度计提供了依据 : 微加速度计; 静电刚度; 模态分析; 灵敏度 : T N911. 71 : A Structure design and fabrication for resonantaccelerometerbasedon electrostatic stiffness 1,2 2 2 2 1,2 LIU Heng , ZHANG Feng-tian , HE Xiao-ping , SU Wei , ZHANG Fu-tang ( 1. College of Communication Engineering, Chongqing U niversity, Chongqing 400044, P. R. China; 2. Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, M ianyang 621900, Sichuan, P. R. China) Abstract: T he introduced resonant accelerometer makes use of the equivalent electrostatic stiffness to sense the acceleration. T he sensitivity can be adjusted by changing the applied sensing voltage and it is robust for the fabrication error. According to the sensing principle, the dynamic model of the single beam accelerometer is built along w ith the no-linear relationship of the output frequency and the displacement of all positive components. When the st