具有自检测功能闭环加速度计接口电路设计.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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具有自检测功能闭环加速度计接口电路设计.pdf

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第17卷第6期光学精密工程 V01．17No．6 andPrecision 2009年6月 Optics Engineering 2009 JuIL 文章编号1004—924X(2009)06-1379-06 具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计刘云涛1’2，尹亮1，陈伟平1’3，吴群 (1．哈尔滨工业大学MEMS中心，黑龙江哈尔滨150001； 2．哈尔滨工程大学信息与通信工程学院，黑龙江哈尔滨150001； 3．微系统与微结构制造教育部重点实验室，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：为了改善微机电系统(MEMS)电容式加速度计的噪声特性，提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前级预放大装置，对寄生电容不敏感，而且具有非常低的噪声。采用相关双采样(CDS)技术消除了1／f噪声和运算放大器失调电压的影响。同时，为了改善系统的动态响应特性，反馈部分采用积分电路，提高了系统阻尼比和响应速度。利用电荷泻放通道实现了自检测功能。采用0．5肛mCMOS工艺完成了版图设计，仿真结果表明，系统灵敏度为0．115V／g，非线性度o．12％，可检测的最小加速度为20肛g，白检测输出与自检测电压成正比。关键词：加速度计；闭环控制；自检测；开关电容；接口电路中图分类号：TH824．4文献标识码：A of of interfacecircuit Design closed--loop accelerometerwithself-testfunction LIUYun-ta01”，YIN Lian91，CHEN Qunl Wei—pin91”，WU Center，HarbinInstitute (1．MEMS 150001，China； ofTechnology，Harbin andCommunication 2．CollegeofInformation Engineering，HarbinEngineeringUniversity，HarbinLq)001，China； and Education，Harbin150001，China) 3．KeyLaboratoryofMicro-systemsMicro-structures]Vlanufacturing，Ministryof Abstract：Alow-noise interfacecircuitbased0na iS toim— closed-loop switched—capacitorpresented thenoise ofaMEMS accelerometer．A is as prove performance capacitive chargeintegratoradopted isinsensitiveto andhasa lOWnoiselevel．TheCorre