椭圆偏光法测量薄膜折射率和厚度研究.pdfVIP

1997 年第2 期 广东教育学院学报 椭圆偏光法测量薄膜折射率 和厚度的研究 傅晓东 本文介绍用椭圆偏光法测量薄膜折射率和薄膜厚度的方法, 包括测量单层薄膜和 多层薄膜的情况。 薄膜 折射率 厚度 偏振 11 椭圆偏光法是用椭圆偏 光束投射样品表面, 观测反射光束偏 状态的改变, 从而定 出样品上膜层厚度和折射率。在各种已有的测定薄膜厚度的方法中, 椭圆偏光法是能测 薄膜最薄和测量精度最高的一种, 应用范围很广, 在半导体工业, 金属工业和生物学方面 也有广泛用途。作者在中山大学物理系进修期间从事了这方面的研究工作, 下文将讨论 薄膜的折射率与厚度的测量方法与计算。 21 投射于样品的入射光在入射面上可分为平行于入射面的P 分量和垂直于入射面的S 分量, 这两个分量的反射系数之比, 携带着样品与反射有关的光学参量信息, 利用P 分量 与S 分量间具有一定位相差的等幅椭圆偏 光入射到样品表面, 可使反射光成为线偏 光, 因此通过对入射P 分量与S 分量间位相差以及反射线偏 方位角的测量, 就可以测 出样品中参与反射的光学参量, 例如样品表面薄膜的折射率和厚度。 对于单层膜的情况, 是空气) ) ) 薄膜) ) ) 衬底系统三种介质组成的, 如下图所示: 1 光来自折射率为n 的介质以U 角射入到折射率为n 、厚度为d 的均匀薄膜, 反射回 1 1 2 n 的介质中, n 至n 的折射角为U, n 到衬底系统n 的折射角为U 。 1 1 2 2 2 3 3 # 20 # [ 1] 根据折射定理 : n1sinU1= n2sinU2= n3sinU3 相邻光束k , k ( l= 0, 1, 2, ,,) 间的位相差: l+ 1 l 2D= 4Pdn cosU[ 1] K 2 2 [ 1] 薄膜总反射电场的P 分量EP反和 S 分量的ES反如下 : - i2D r + r e 1P 2P EP反= - i2D EPK 1+ r r e lP 2P - i2D rlS+ r2Se Es反= - i2DESK 1+ r r e 1S 2S 其中的r 、r 是n 至n 的反射系数, r 、r 是n 至n 的反射系数, 它们遵循菲涅耳 1P 1S 1 2 2P 2S 2 3 [ 1] 公式 : n cosU- n cosU 2 1 1 2 r = 1P n cosU+ n cosU 2 1 1 2