无衍射光束三角测量系统噪声处理的小波分析方法.docVIP

无衍射光束三角测量系统噪声处理的小波分析方法摘要：无衍射光束三角测量系统具有焦深长、中心光斑小、理论测量精度高等特点，但实际测量中的噪声会严重影响测量精度。根据无衍射光束三角测量中信号与噪声的频率特性，采用小波分析方法将噪声与信号分离，进而剔除噪声误差，可获得理想的测量精度。关键词：无衍射光束　三角测量法　噪声　小波分析Wavelet Analyzing Method for Removing Noise in TriangulationMeasuring System with Non-diffracting Beam Abstract: The triangulation measuring system with non-diffracting beam make features of longer focal depth, smaller central spot size and higher theoretic measuring accuracy. But the measuring accuracy is depressed obviously by noises in the real measurement. Based on the frequency characteristics of signals and noises in the triangulation measuring system with non-diffracting beam, the wavelet analyzing method is used to separate noises from signals. By removing noises, an ideal measuring accuracy of the system can be obtained. Keywords: non-diffracting beam　triangulation measuring method　noise　wavelet analysis 正文： 1．无衍射贝塞尔光束激光三角测量法是在长度、位移、表面粗糙度等几何量非接触精密测量中常用的方法。但传统的激光三角测量法受入射光束焦深的限制，需要对入射光束进行精确调焦，即测量系统需要配置一套精密调焦机构，以保证测量过程中被测对象始终处于测量系统的焦深范围以内。这不仅使测量系统结构复杂，而且对测量精度和测量速度均有影响。如采用无衍射贝塞尔光束作为入射光束，则可以较好地解决传统的激光三角测量法中的焦深限制问题。　　无衍射光束是自由空间标量波动方程的一组特殊解，通常为零阶或高阶贝塞尔函数分布。　　1987年，J.Durnin给出了自由空间标量波动方程 　　　　　　　　　　　1 的精确解［1,2］，即标量场以光速c传播进入自由空间z≥0区域的精确解形式为　　E(x，y，z≥0，t）＝exp［i（k11z－ωt）］　　A（）exp［ik⊥（xcos＋ysin）］　　　　　　　　　　　2 式中，A（）是角坐标的任意复函数；kH2＋k⊥2＝（）2，k11、k⊥分别是与波传播方向平行及垂直的波矢量。当k11是实数时，此解表示一个无衍射场。当A（）与无关，特别当A（）＝1时，此解表示一个完全轴对称的无衍射场，此时　　E（x，y，z，t）＝exp［i（k11z－ωt）］J0（k⊥r)　　　　　　　　　　　　3 　　，J0是第一类零阶贝塞尔函数）为具有无衍射光场分布的光束，即无衍射光束。因为它具有贝塞尔函数分布，又称为无衍射贝塞尔光束，如图1所示。 图1　无衍射贝塞尔光束分布 理想的无衍射光束强度为　　I（x，y，z）＝｜E（r，t）｜＝I（x，y，z＝0）　　　　　　　　　　　4 　　由于光束强度I与光束传播距离z无关，所以理想的无衍射光束具有中心光斑小（可达波长量级），且其直径和强度不随传播距离变化的优良特性。　　无衍射光束的实现方法主要有环缝法、谐振腔法、Axicon法和球面像差法等［3，4］。其中Axicon（圆锥棱镜）法具有结构简单、能量利用率高等优点。下面讨论由Axicon法实现的无衍射光束三角测量系统中测量信号与测量误差的处理方法。 2．无衍射光束三角测量系统及其测量误差　　由Axicon法实现的无衍射光束三角测量系统的工作原理如图2所示。由激光器发出的光束经透镜后变成准直光束，且光束充满Axicon棱镜的整个孔径，光束经Axicon棱镜后形成无衍射光束，然后经被测物O反射至线阵CCD，线阵CCD将光信号转换为电信号，经A/D转换等信号处理过程后即获得测量数据。由于在无衍射范围内，被测物O的纵向测量范围始终处于光束焦深Z以内，因此无需精密调焦系统。 图2　无衍射光束