氦质谱检漏灵敏度分析与应用.docVIP

氦质谱检漏灵敏度分析与应用 蒲 洁 徐淑珍 张华全 对真空漏率要求较高的大容器检漏一般采用氦质谱真空检漏，此时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度，必须对辅助真空系统进行合理设计。下面通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在本套真空系统中的连接方式。 ????????? 如图1所示，检漏仪接在前级一侧时，令前级泵对氦气的抽速为S1，次级泵对氦气的抽速为S2，检漏仪支路对氦气的抽速为Sd。系统检漏灵敏度的变化 (1) 式中，Qmin为检漏仪灵敏度。 如图2所示，检漏仪接在高真空一侧时，检漏灵敏度的变化 (2) 通过对检漏仪的调节，能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速Sd保持一致，Qmin为系统参数一般不变，从式(1)和式(2)可看出qmin的高低取决于S1和S2的大小。在分流状态，有S2S1，即qmin1＜qmin2。在次级泵启动进入稳定状态后，一般可将前级泵处节流阀关闭，即S1＝0，由式(1)可知，此时qmin1=Qmin。而相同条件下，次级泵处阀门却不能完全断开，即S2＞0，由式(2)可知，qmin2＞Qmin，比较有qmin1＜qmin2。在需对大容器抽高真空并要求检漏时，检漏仪接在前级侧时的系统检漏灵敏度高于接在高真空侧的检漏灵敏度。 表 1 检漏仪接高真空侧节流阀6圈，机械泵二通阀全开（全分流） 序号 开VQs 关VQs 信号变化/mV 均值qmin /Pa·m3/s 1 0.019(1(10(9 0.015(1(10(9 4 1.4(10(9 2 0.0195(1(10(9 0.016(1(10(9 2.5 3 0.019(1(10(9 0.015(1(10(9 4 对上述两种连接方式进行了测试（检漏系统用标准漏孔漏率为2.4(10(9 (Pa·m3/s)，Qmin为1.8(10(11 Pa·m3/s）。检漏仪两种连接方式的测试结果：全分流时，接高真空侧读数变化为2.5~4mV，qmin在1(10(9 Pa·m3/s量级；接低真空侧读数变化均值为53mV，qmin在1(10(11Pa·m3/s量级；不分流时，接低真空侧读数变化在70mV，qmin在1(10(11 Pa·m3/s量级。测试结果与理论分析结果相符。 表 2 检漏仪接低真空侧节流阀6圈，机械泵二通阀全开（全分流） 序号 开VQs 关VQs 信号变化/mV 均值qmin /(Pa(m3/s) 1 0.074(1(10(8 0.068(1(10(8 60 9×10(11 2 0.071(1(10(8 0.065(1(10(8 60 3 0.068(1(10(8 0.064(1(10(8 40 表 3 节流阀6圈，机械泵二通阀全关（不分流） 序号 开VQs 关VQs 信号变化/mV 均值qmin /(Pa(m3/s) 1 0.058(1(10(8 0.051(1(10(8 70 6.8×10(11 2 0.057(1(10(8 0.050(1(10(8 70 3 0.056(1(10(8 0.049(1(10(8 70 根据大容器检漏要求，设计本套辅助真空系统时，真空度要达到10(5Pa量级，要达到10(10(Pa(m3/s)以上。根据现有真空设备情况，辅助真空系统的抽气机组由1500型立式涡轮分子泵和2X-15型旋片式真空泵组成次级泵和前级泵。 qmin2= Sd Qmin(S2+Sd) qmin1= Sd Qmin(S1+Sd)