深圳大学本科毕业论文（设计）开题报告-深圳大学-信息工程学院.docVIP

深圳大学本科毕业论文（设计）开题报告 题 目 隧道磁阻式传感器研究 学生姓名 谢浩鹏 学号 2009130256 专业 电子信息工程 学 院 信息工程学院 指导教师 潘志铭、陈秋和 本选题的意义及国内外发展状况： 传感器技术是一项迅猛发展起来的高新技术，也是当代科学技术发展的一个重要标志，它与通信技术、计算机技术构成了现代社会的信息产业。磁传感器是种类繁多的传感器中的一种，它能够感知与磁现象有关的物理量的变化，并将其转变为电信号进行检测，从而直接或间接地探测磁场大小、方向、位移、角度、电流等物理信息，广泛应用于信息、电机、电力电子、能源管理、汽车、磁信息读写、工业自动控制及生物医学等领域。随着科技进步和信息技术的发展，人们对磁传感器的尺寸、灵敏度、热稳定性及功耗等提出了越来越高的要求。目前广泛应用的磁传感器主要是基于电磁感应原理、霍尔效应及磁电阻效应等。其中基于磁电阻效应的传感器由于其高灵敏度、小体积、低功耗及易集成等特点正在取代传统的磁传感器。 目前，市场上主要的磁传感器芯片是基于霍尔效应、各向异性磁电阻(AMR)和巨磁电阻(GMR)效应而开发的，而由于TMR（即隧道磁阻式传感器）传感器芯片拥有的小型化、低成本、低功耗、高度集成、高响应频率和高灵敏度特性，使其将会成为未来竞争的制高点。 世界范围内，磁传感器芯片及其次级产品的年产值超过千亿人民币，并以8%的年增长