树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理和基础现象.pdfVIP

树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮 的电解调整原理和基础现象 王先逵 马明霞 (清华大学精仪系 北京 100084) 庄司克雄 厨川常元 东北大学机械电子工学科 日本国仙台市 980-8579 摘要 针对镜面程度的表面粗糙度和高形状精度同时要求的超精密镜面磨削加工 提出了采用电解调整后 的树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的方法 其原理是把金属粉末作为添加剂混入到树脂结合剂中 在修整砂轮后进行电解处理 使其表层的金属成分溶出 形成气孔 这样砂轮的内部是树脂-金属复合结 合剂结构 表层是有气孔的树脂结合剂结构 论述了树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原 理 进行了电解调整和磨削实验 讨论了试验过程中的基础现象 关键词 树脂-金属结合剂 电解调整 金刚石微粉砂轮 超精密镜面磨削 0 前言 最近 以陶瓷 半导体和光学玻璃为代表的硬脆性材料对加工精度的要求越来越高 特别是高 精度的精度和镜面程度的表面粗糙度同时要求的加工需求正在不断增长 这种加工被称为超精密镜 面加工 对于半导体基片和计算机硬盘等几何形状简单的零件 通常采用先磨削后研磨 抛光的加 工方法 但是对于外圆柱面和复杂的非球面的超精密镜面加工 磨削过程则必须同时满足高形状精 度和低表面粗糙度的双重要求 磨粒的支持刚性影响形状精度和表面粗糙度 为了确保高形状精度 砂轮的刚性应尽可能大 但是为了得到镜面状态的表面粗糙度 砂轮的刚性低有利 因此从工具刚 性的角度看 超精密镜面磨削的要求是矛盾的 金属结合剂砂轮刚性大 对保证形状精度有利 但其不易加工出镜面程度的表面粗糙度 修整 困难 要达到这一程度 对磨床精度和刚性的要求十分苛刻 在实际的超精密镜面磨削加工中 表 面粗糙度的要求往往高于形状精度 因此应充分发挥树脂结合剂的弹性效果 树脂结合剂因为具有以下三个优点而适用于镜面磨削 树脂砂轮弹性高 具有吸震性 并且 易于使切削刃突出高度均匀 使用树脂砂轮可降低对磨床精度和刚性的苛刻要求 树脂砂轮在 磨削过程中会出现磨粒回转现象 具有自生作用的效果 但是由于树脂结合剂弹性大易变形 因此 很难保证形状精度 此外 金刚石微粉砂轮 特别是小于W5.0的树脂结合剂金刚石微粉砂轮 磨粒 易于埋没于结合剂中 磨粒之间的容屑槽减小 极易发生阻塞 导致砂轮的切削能力大幅度降低 加工表面质量恶化 为了充分发挥树脂结合剂在超精密镜面磨削加工中的优势 抑制其过量的变形 并在树脂结合 剂金刚石微粉砂轮表面制造容屑槽 本文提出兼用树脂结合剂和金属结合剂的优点 将电解调整后 的树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮用于超精密镜面磨削 1 树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解调整原理 在砂轮制造过程中 把金属铜粉末作为添加剂混入到树脂结合剂中 金属粉末可以限制树脂的 弹性变形 从而提高了砂轮的整体刚性 改善工件的形状精度 使用前先修整砂轮 然后对砂轮进 行电解调整 电解过程中 砂轮表层的铜被腐蚀掉 而树脂结合剂和金刚石磨粒不受电解作用影响 而保持修整后的原状 从而在砂轮表层形成气孔 电解调整后 砂轮的内部保持了树脂-金属复合结 合剂砂轮的组织结构 而砂轮的表层则是有气孔的树脂结 砂轮的轮毂 合剂砂轮的组织结构 砂轮不仅具有高的宏观刚性 而且 铜 砂轮参与磨削的表层部分是具有弹性的树脂结合剂砂轮 树脂 结构 而且表层的树脂结合剂砂轮层具有气孔 可以使砂 轮具有持续磨削能力 金刚石磨粒 图 1是树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的电解 气孔 调整原理图 将电源的正极接砂轮的轮毂 负极接工具电 2+ 电解液