电子显微镜及其附属设备基本原理与用途.pdf

电子显微镜及其附属设备 的结构、基本原理、 用途及其使用 方法 第一部分 透射式电子显微镜 1.透射式电 子显微镜外 形及其基本 组成：电子光学系统； 结构 高压系统；数据采集系 统；电子控制系统；真空 系统等五大部分。 电子光学系统 • 电子枪、电子束 • 加速线圈、透镜 • 系统、物镜系 统、 • 成像系统、消像 • 散系统、电子对 • 中系统等 真空系统 • 真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、 真空管道、循环水系统等 IP 电子枪 镜筒 RP 照相室 DP 数据采集系统 • 数据采集系统包括：CCD数据采集系 统、PHOTO采集系统； 高压及其电源系统 • 高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束 发射枪、电源等。 电子控制系统 • 电源控制系统、电子束调整系统、电子 光路调整系统、电子成像控制系统、真 空控制系统、模式选择系统等。 2.透射电子显微镜的基本工作原理 电子光学系统 的工作原理 LaB6灯丝在高电压 的作用下，产生一 束高能电子束。经 过透镜、物镜、消 像散等系统的调 整，形成一束近似 平行光的电子束， 作用于试样。电子 束与试样将发生各 种各样的作用。主 要形成透过电子、 弹性散射电子、非 弹性散射电子 电子光路及其成像系统 不同放大倍率下TEM 的电子光学成像机理 透射电镜入射电子与试样相互作用所产生的 部分电子与信号示意图 A.透过电子像 A.透过电子像： 当试样足够薄时，入射电子不 与试样发生相互作用直接穿过 试样，从而得到试样的内部结 构，一般我们称之为TEM成像 法。 B.弹性散射电子像 • 弹性散射：只改变散射电子的方向，不改变散射 电子的能量。 • 弹性散射电子包括：引起布拉格反射的衍射波、 背散射电子波等。 • 弹性散射电子波主要用于明场像、暗场像、高分 辨电子显微方法等像观察方法。 C非弹性散射电子像 • 非弹性散射电子的种类： • a晶格震动产生的散射（声子激发） • b价电子集体激发（等离子激发） • c带间跃迁；