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激光与 电子学进展 Laser 0ptoelectronicsProgress ~2014~ 国激光》杂志社 基于空间光调制器的光学显微成像技术 杜艳丽 马凤英 弓巧侠 郭茂田梁二军 郑州大学物理工程学院,河南 郑州 450001 摘要 空间光调制器(SLM)是一种对光波的光场分布进行调制的元件。它广泛应用于光信息处理、光束变换和输出 显示等诸多应用领域。随着高分辨率空间光调制器在光学显微成像系统中的应用 ,大大提高了显微振幅和相位样 品 显微成像的分辨率和对 比度,不仅能够实现各种传统的相位显微技术 ,而且能够灵活地 以更复杂的相位调制方式实 现新的显微成像。在光学显微系统中,SLM不仅用以控制样品照明光束 ,同时能作为空间傅里叶滤波器用于成像光 路 ,综述了SLM在光学显微系统中的多种灵活应用 。 关键词 成像系统;空间光调制器 ;液 晶;显微成像;相位衬 比度;螺旋相位滤波器 中图分类号 0438 文献标识码 A doi:10.3788/LOP51.020002 OpticalM icroscopicIm agingTechnologyBasedon Spatial LightM odulator DuYanli MaFengying GongQiaoxia GuoMaotian LiangErjun SchoolofPhysicalEngineering,ZhengzhouUniversity,Zhengzhou,Henan450001,China Abstract Spatiallightmodulator(SLM)isakindofopticalmodulatingelementsfortheopticalfielddistribution. Itiswidelyusedinopticalinformationprocessing,beam transformation,outputdisplayandmanyotherapplication fields.Withthewideapplicationsofhigh—resolutionSLMs,themicroscopicimagingresolutionandcontrastofphase andamplitudesamplesareenhancedgreatly,whichcannotonlyachievetraditionalphasemicroscopictechniques, butalsoachievenew typem icroscopicimagingw ithamorecomplicatedwayandflexibilitytomodulatephase.In microscopySLM cannotonlybeusedtocontrolthesampleillum ination,butalsoactasspatialFourierfiltersinthe imagingpath.Someoftheseflexibleapplicationsarereviewedinthisarticle. Keywords imagingsystems;spatiallightmodulator;liquidcrystal;microscopicimaging;phasecontrast; spiralphasefilter OCIScodes 110.0180;070.6110;070.6120;090.1995;100.6890;180.6900 1 引 言 自从 l7世纪列文虎克的光学显微镜发 明以来 ,光学成像技术极大地推动了人类文明的进程 ,使人类 的 观察视野延伸到极端的微观世界 ,迄今为止 ,它仍是一个非常活跃 的研究领域。看得更细、更清楚一直是人 们不断追求 的 目标 ,因此各种技术层出不穷以提高光学显微成像系统的分辨率和 图像衬比度。 由于光的波动性 ,最大可达到的光学分辨率约为200nm,即光学衍射极 限或阿贝极限。为了突破该极 限,最早通过减小波长 的电子显微镜实现亚纳米水平 的空间分辨率 ,该技术被

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