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第11卷 第1期 强 激 光 与 粒 子 束 . 11, . 1
V o l N o
1999年2月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Feb. , 1999
自适应光学系统中高速倾斜反射镜的稳定控制
李新阳 凌 宁 陈东红 于继龙
( 中国科学院光电技术研究所, 成都, 610209)
摘 要 分析了自适应光学系统中高速倾斜反射镜的机械谐振现象及其对控制稳定性和
控制带宽的影响。根据测量数据建立了机械谐振的动态数学模型。讨论了低通滤波和双二阶网
络滤波等几种可以减小倾斜反射镜机械谐振的方法。实验表明采用网络滤波技术后, 高速倾斜
反射镜的控制稳定性和控制带宽都得到了较大的改善。
关键词 自适应光学 高速倾斜反射镜 机械谐振 网络滤波 控制
中图分类号 TN 248. 11
高速倾斜反射镜 (fast steering m irro r) 利用分辨率达纳米量级的压电驱动器驱动一块小
面积的反射镜, 能使光束产生快速、小角度的倾斜变化。与传统的电机驱动机构相比, 高速倾斜
反射镜具有运动惯性小、响应速度快、角分辨精度高等显著优点, 在自适应光学、精密跟瞄、光
束控制等领域有广泛的应用[ 1, 2 ]。自适应光学使传统光学技术发生了巨大的改变, 它得益于变
[ 3 ]
形反射镜和两维高速倾斜反射镜这两个精密波前校正器件的应用 。倾斜反射镜在自适应光
学中用于校正畸变波前的整体倾斜相差, 当波前的畸变速度较快时, 对倾斜反射镜的控制带宽
[ 4 ]
要求也很高 。一般情况下, 自适应光学系统的控制带宽是受采样频率和信号处理速度决定
[ 5 ]
的 。但由于倾斜反射镜固有的弹性结构, 当控制信号的频率较高时, 反射镜的镜面会发生机
械谐振现象, 严重时将影响控制系统的稳定性, 限制了控制带宽。根据这种机械谐振现象发生
的频率、大小相对固定的特点, 有学者探讨运用滤波的方法来全部或部分抑制倾斜镜的机械谐
振[ 2, 6 ]。本文在对倾斜反射镜机械谐振现象的动态模型进行测量和分析的基础上, 运用网络滤
波技术提高自适应光学系统中倾斜反射镜控制系统的稳定性和控制带宽。
1 高速倾斜反射镜的机械谐振现象
1. 1 高速倾斜反射镜的机械结构
倾斜反射镜一般由一个大的镜座基底, 有
一定的厚度和刚度的镜面, 两个直角排列的压
电驱动器 、 和一个固定支柱 组成, 如图1
X Y O
所示。倾斜反射镜的镜面可以看作是支撑在一
个弹性结构上的刚体。据文献[ 1, 2 ] 的分析, 这
个弹性系统存在多个谐振模式, 但对倾斜镜控
制稳定性影响最大的是机械谐振频率最低的一
F ig. 1 E lasticity structure of the steering m irro r
个, 其谐振圆频率为 图1 倾斜反射镜弹性结构示意图
国家863激光技术领域资助课题
1998年10月20 日收到原稿, 1998年12月14 日收到修改稿。
李新阳, 男, 1971年5月出生, 博士研究生
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32 强 激 光 与 粒 子
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