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维普资讯
第4卷 第3期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．4 No．3
2006年9月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Sep．2006
ConstructionofaM easurementand Control
System foraSawyerM otor-·driven
PlanarM otionStage
TANOM ，GAOWh DIAN SY ，~YONO S ，TOMITA Y ，MAKINOK ，MOTITA H
，
(1．TohokuUniversity，Sendal980-8579，Japan；2．SumitomoHeavyIndustriesLtd．，Tokyo141-8686，Japna)
Abstract：Thispaperdescribesaprecisionpositioningsystem combinedwithaSawyermotor-drivenstagenadasurface
encoder．Thestageconsistsofaplatennadforcersflinearpulsemotors)．TheplatenisapassivesteelplatewitIlteehtover
htesurface．Eachoftheforcers，whichislevitatedonhteplatenas stagemovingelementbyair-bearing，iscomposedofa
permanentmagnetnadtwodrivingcoilstogenerateX·d·irectionalnadY-directionalthrustforcesagainsthteplatenfordriv··
inghtestage．A surfaceeneoderisconstructedofrmeasurementnadcontrolofhtestagemovement．A sine· dismountde
ontheplatennadasensor-unitismountdeonhtestagemovingelement．Thererae[hl~eopticalsensorsinhtesensorunit
ofrmeasurementofhteX-nadY-positionsatthreeseparatepoints．Th e0zdisplacementofhtestagecna becalculatedfrom
htesensoroutputs．A ofe~ ackcontrolsystem isdevelope dofrcontrollinghtemovementofhtestage．Measurementnad
feedbackcontrolexperimentsarecarriedouttoverifyhtefeasibiliyt ofhteprecisionpositioningsystem．
Keywords：measurement；control；positioning；Sawy ermotor；surfaceencoder；sine d；sensor
ArticleID：1672．6o30(2006)03．0182．08
一 种 Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计
TANOM ，高 伟h，DIANSY，KIYONOS，TOMITAY，MAKINOK ，MOT1TAH
(1．日本东
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