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- 2017-08-31 发布于湖北
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浅析镀膜玻璃生产过程中色差控制技巧.pdf
2010年 第 5期 SCIENCETECHNOLOGYINFORMATION O企业论坛0 科技信.I
浅析镀膜玻璃生产过程中色差的控制技巧
潘其真 孟怡敏 张瑕瑕
(洛玻集团洛阳新晶润工程玻璃有限公司 河南 洛阳 471003)
摘【 要】通过对离线磁控溅射镀膜玻璃生产工艺的了解,以及各种材料形成的薄膜,对玻璃颜色影响程度的分析,提出了在生产过程中准
确、快速地将玻璃 色差调整到最小的方法。
【关键词】镀膜玻璃;磁控溅射;膜系;色差
O 引言 周长 :单个靶材 的溅射沟槽周长,单位 mm
速度 、功率 、周长都可以精确测量 ,只有DDR会随靶材溅射沟槽
镀膜玻璃在国内使用、生产 已经有十多年了,其生产主要 以离线磁 的深浅 、溅射电源功率 、镀膜室工艺气体压力
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