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等厚干涉数字处理系统研究与测量 赵艳 ??前言 等厚干涉仪是采用等厚光波干涉原理，用于测量物体表面平面度的光学计量仪器。目前实验室使用的是二三十年前国产的，用钠光做光源、不带标准平面平晶北京产c4-1平面等厚干涉仪。采用光学放大，目测读数，手工记录，由于设备使用频繁，部分部件老化，造成干涉图像模糊，检定人员的工作强度很大。为了在低成本、提高功效的条件下解决这些问题，现对该仪器进行了技术更新。 利用CCD和计算机图像处理技术，分析、处理干涉条纹的研究与应用，国内外均有报导，但是由于等厚干涉条纹图像处理要涉及到图像的跟踪和判别，所以该技术应用于等厚干涉测量领域，国内外的相关数据和报导为数不多。 1.测量系统组成 测试系统的机械部分保持原来仪器的基本结构不做改动。测试系统的控制部分由干涉图像的采集及处理系统和计算机及其相关软硬件等外设组成。图11为数字型等厚干涉仪控制系统流程图 从CCD图像传感器中直接输出的是视频图像信号，该信号通过接口输入计算机;一方面以干涉图显示在显示屏上，另一方面则通过软件对图像进行处理得到最终的检测数据。通过开发的软件完成对数字图像的预处理过程，经图像二值化、边缘提取、自动识别、像素细分、条纹修补、跟踪、标记、采样等处理后，计算出平晶的平面度，得到测试值;然后用软件中的计算功能模块评定出被测件的平面度，同时将检定结果直接输出到“检定证书”并打印出来。两个主要部分，一个为:“干涉图像的图像处理软件模块”，另一个为:依据JJG28-2000《平晶》检定规程进行平面度评定的软件模块。 图1 小波去噪处理过程 由上图可知，寻求基于小波变换的去除噪声最佳方法的过程，实际上也就是寻求最佳的小波系数处理方法的过程。一般情况下，信号对应的小波系数包含有重要的信息，其数据较少，幅值变化较大，而噪声对应的小波系数的分布则恰好相反，通过设定特定的阈值对小波系数进行取舍，就可以得到小波系数估计值，最后通过估计小波系数进行小波重构，就可以得到去噪后的图像，这种方法被称为阈值去噪法。其算法的基本过程为： ① 对原始信号进行小波分解； ② 对变换后的小波系数进行阈值处理，得到估计小波系数； ③ 根据估计小波系数进行小波重构。 阈值去噪法实现简单，计算量小，在实际中有着广泛的应用。经过阈值处理后，得到的处理后的小波系数多，因此可以直接对其进行小波重构。阈值处理的方法有两种：一种是硬阈值法，定义为 硬阈值法得到的小波系数的连续性较差，重构信号可能出现突变或振荡现象。另一种方法是软阈值法，定义为： 软阈值法的到的小波系数的连续性好，但当小波系数较大时，得到的处理后的小波系数和实际的小波系数有一定的偏差，会导致重构结果的误差。 下图为两种阈值方法的示意图。 当所选阈值过大或过小都不能达到在去噪的同时保留图像细节和边缘信息。因此合理选择阈值可以在去噪的同时保留图像细节和边缘信息。目前阈值选取使用可以分为全局阈值和局部适应阈值两类。其中全局阈值是对各层所有的小波系数或同一层内不同方向的小波系数都选用同一个阈值；而局部阈值是根据不同层不同方向分别选取阈值。有以下几种情况： ①全局阈值，其中，为噪声标准差，M、N为图像的尺度。在正态高斯噪声模型下，针对多维独立正态变量联合分布，在维数趋向无穷时的研究得出的结论，即大于该阈值的系数含有噪声信号的概率趋于零。这个阈值由于和信号的尺寸对数的平方根成正比，所以当N较大时，阈值趋向于将所有的小波系数置零，此时小波滤波器退化为低通滤波器。 ②基于零均值正态分布的置信区间阈值； ③最小最大化阈值；采用的也是一种固定的阈值，它产生一个最小均方误差的极值。在统计学上，这种极值原理用于设计估计器，因为被去噪的信号可以看作与未知回归函数的估计式相似，这种极值估计器可以在一个给定的函数集中实现最大均方误差最小化。 ④TOP阈值。其中P是需要保留的大的小波系数的比率。此种方法需要作者多次选择不同的来进行多次实验恢复图像，从而从中选出较好的阈值。 ⑤SURE阈值；此方法适用于分解后的小波系数比较集中的情况，如果小波系数是稀疏的，用此方法效果不好。 ⑥BayesShrink阈值。 通常阈值是根据实际应用的需要，通过确定合适的准则，以及对可能的阈值进行寻优来选择的。在以上阈值中，全局阈值计算简单，但是它趋向于“过扼杀”小波系数，在重构时会导致较大误差；置信区间阈值虽然和图像大小无关，但由于随着图像尺寸的增大，大的噪声系数出现的数目也会增多，在阈值处理时被保留部分较多，从而去噪效果不好，误差较大；最小最大化阈值，由于它采用最小均方误差的极值，所以有时也会“过扼杀”系数；SURE阈值较好，但求解阈值过程相当复杂；BayesShrink阈值效果紧次于SURE，