单振子双腔并联无阀压电微泵的性能分析及仿真模拟.pdfVIP

摘要 摘要 微电子机械系统(MEMS)的飞速发展令世人瞩目，而微流体控制系统作为 MEMS技术研究的一个主要方向，已展示了其广阔的市场应用前景。微泵是微 流体控制系统的重要执行器件，是微流体控制系统发展水平的重要标志，目前 己研制出多种类型的微型泵，而其中又因无阀型微泵结构简单、装配方便等优 点，而成为近年来研究热点。 本文介绍一种单振子双腔并联无阀压电微泵的结构及其工作原理，并分析 和研究它的性能。首先根据弹性薄板小挠度弯曲理论和压电学的相关理论建立 复合双压电层压电振子理论模型，使用能量法，推导出在固支边界条件下，复 合双压电层压电振子的静态变形计算公式，以及复合双压电层压电振子的固有 频率，然后从扩散管／收缩管中流体的流动状态、沿程阻力及局部阻力等流体动 力学的一些基本理论出发，阐述了无阀微泵的单向出流机理，给出扩散管／收缩 管结构的整流效率、溶积效率以及流量的计算公式。 由于上述解析方程和计算公式不仅极其复杂，而且求解非常困难，因此本 ·文采用有限元分析方法。首先用ANSYS软件，对复合双电层压电振子进行压电一 结构耦合分析，分析影响复合双压电层压电振子性能的几何结构参数。然后再 使用FLUENT软件，对扩散管／收缩管结构的管内流场进行分析，得出影响扩散 管／收缩管结构性能的参数，为扩散管／收缩管结构的优化提供参考。 综合对单振子双腔并联无阀压电微泵泵腔各结构单元的分析结果，选择一 组优化参数建立单振子双腔并联无阀压电微泵的二维全模型，利用ANSYS中专 门用于流固多物理场耦合分析的模块FSI，对单振子双腔并联无阀压电微泵二维 全模型在一个工作周期内的泵送过程进行了瞬态仿真，直观地显示了各个时刻 泵腔内的流场构形和速度分布，为了更准确的分析影响单振子双腔并联无阀压 电微泵的总体性能，建立了单振子双腔并联无阀压电微泵的三维立体模型，并 对该三维模型的性能进行分析，得出复合双压电层压电振子的电压及其频率对 单振子双腔并联无阀压电微泵的影响，为无阀微泵的结构设计和参数优化提供 了直接的理论基础和实际的指导作用。 关键词双腔并联：无阀压电微泵；多物理场耦合；数值模拟；ANSYS ABSTRACT ABSTRACT thelast ofthe During years，therapiddevelopment theMicrofluidicasamainresearch remarkable，but System(MEMS)is System directionofthe thewidemarketinallthefields．The the MEMS，has is micropump executiveunitoftheMicrofluidic itisalSOthe important System．and important ofthe leveloftheMicrofluidic of symbol development System．Now,manytypes the have has been thevalveless micropump researched，and especially mic