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第32卷第12期 仪 器 仪 表 学 报 v。I．32No．12
201 Chinese ofScientificInstrument
1年12月 Journal Dec．2011
基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统研究
朱斌，殷晨波，陶春昊，张子立
(南京工业大学车辆与工程机械研究所南京210009)
摘要：为了安全、方便、可靠地进行气体敏感单元气敏性能测试，设计了一套基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统。
根据道尔顿分压定律和阿马伽定律，给出了恒流配气系统的理论实现公式。设计并制作了安全、可靠、防爆、防泄漏的反应室和
USB
基于气体饱和法的加湿装置。基于NI
器测试系统软件控制界面和尾气监控界面。制作了基于SnO：敏感薄膜的气体传感器原型，通过测试系统测得在2000×10“H2
浓度时气敏效果最好，灵敏度约24，响应时间约2s，回复时间约200s，且在2
000×10“H：浓度时，出现了气敏薄膜吸氢饱和
现象。实验验证了该测试系统的可靠性。
关键词：气体测试系统；恒流配气；加湿装置；反应窜
中图分类号：TP212．2文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．80
Researchonthemicrosensortest
gas system
basedonconstant method
gas-distribution
Zhu Zili
Bin，YinChenbo，TaoChunmin，Zhang
andConstruction
(InstituteofAutomation Machinery，Na彬ngUniversityof 210009，China)
Technology，Nanjing
andreliablemicrosensortest basedonconstant methodwas
Abstract：Asafe，convenient gas system gas-distribution
tothe lawand theoretical theconstant
Dalton’S Amagatlaw，the formulasof
developed．Accordingpartialpressure
and humidifi-
were reactionchamberand
systems
gas·distribution given．Asafe，reliable，explosion—proofleak—proof
cationdevicebasedon saturationwere andmanufactured．WithLabVIEW8．5asthesoftware
gas designed develop-
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