纳米级超精密气浮工件台振动特性分析.pdfVIP

第35卷 　第11期 华 　中　科 　技 　大 　学 　学 　报 ( 自然科学版) Vol . 35 No . 11 2007年 　11月 　 J . Huazhon g U niv . of Sci . Tec h . (N atu re Science E it ion) 　Nov . 　2 007 纳 米 级 超 精 密 气 浮 工 件 台 振 动 特 性 分 析 陈学东 　鲍秀兰 　何学 明　余显忠 (华 中科技大学 数字制造装备与技术 国家重点实验室 , 湖北 武汉 430 074) 摘要 : 针对超精密气浮工件台的振动特性展开研究 ,提 出了一种气 固耦合 的仿真 处理方法. 采 用在气 浮孔中 施加对地弹簧的方法来模拟气浮系统 ,建立了工件台系统的动力学模型 ,推导出了系统的振动方程 ,对振动特 性进行了求解和分析 ,得到了系统的固有频率和振型 ,对 系统的结构刚度有了一个较为准确的估计 .仿 真结果 表明振动对工件台定位精度影响很小 ,但会给测量造成一些误差 . 由仿真辨识出了气浮引起的振动频率范围 , 为系统的进一步优化提供了理论依据 . 通过试验证明了仿真模型的正确 性和精确程度 , 并由试验结果证实了 由气浮产生的振动远小于由系统结构引起 的振 动. 关 　键 　词 : 超精密气浮工作台 ; 振动 ; 气固耦合 ; 动力学 ; 仿真 中图分类号 : TH 16 1　　文献标识码 : A 　　文 章编 号 : 167 124 512 (2 007) 112000 5204 Vibrat ion analysis of ult ra2pr ecision stage wit h a ir2bear in g Chen X ue on g 　B a o Xi ul a n 　H e Xuem i n g 　Yu Xi an zho ng ( St at e key L a borato ry of Digit al Manufactu ring Equip me nt an T ec hnology , Huazhon g U niver sit y o f Scien ce a n Technolo gy , Wu h an 4 30074 , China) Abstr act : In t hi s pap er t o st u y t he vi br ation for u lt r a2p r ecision st age wi t h ai r bear in g , a sim ulation met ho for t he gas2soli coup le stage i s p r esen te . In t hi s met ho t he no e2to2gro un t ran slat ional sp ri ng s a re b ui lt for ai r2foot . A y namic mo el of t h e st age i s est abli she , an t he vib r ation equations ar e eri vat e . The vi br ation c har act eri stic of t he sta ge i s a nal yze an si mulat e , an t h e r esult s of si mula tion ar e verifie by t he e xp er imen t . Th e si mulat ion r esul t s show t hat t he p r eci sion of measu r e has been i nf lu ence b y t h e vib r ation . The nat ur al f requency cau se by ai r is i ent ifie b y