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第稿卷筹6期 V01．44，No．6
羹空 VACUUM
2007年11月 Nov．20孵
聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用
马向国1，刘同娟1，顾文琪2
(1．j匕京物资学院，北京101149；2．中国科学院电工研究所。北京100080)
摘要：聚焦离子束(FIB)技术蹙一种集形貌观测、定位翩样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程
于一身的新型微纳加工技术。它突破了只熊对表层成像和分析的局限，可以对样品进行三维的、表面下
的观察秘分橱，也霹以对样品材料进行切割研密翻沉积特定材料，用它可以获霉譬以翦无法锝到豹样黯信
息。从而势研究入最和制造人员提供了一种对多种样鼯在纳米尺度进行修改、翩作稚分析的有效工舆。
关键词：聚焦离子柬：液态金属离子源：微纳加工技术
中围分类号：TN405 文献标识码：B 文章缡号：1002—0322(2007)06—0074—05
ofFIBinmicro／nano
Application technology
processing
MA
Xiang-gu01，LIUTong-juan‘，GUWenqi2
Material Electrical
101149，China；2。Institute
《l。Beijing ManagementInstitute，Beijing of Engineering,
Chinese
AcademyofScience，Beijing100080,China)
Ion alladvancedmicro／nano for for
Abstract：FIB(FocusedBeam)is technologymorphological
accurate andmaskless limitationthat
breaks the the
positioning，compositionalanalysis，filmdeposition etching．It through only
are it canobserve
and and with3Dandundersurfaceavailable．
supeffacialimaginganalyzingpossible，and analyzesamples images
Itcall
alsocut and informationwhichcan’tbe beforeis
and西nd depositspecialmaterials。Thus，the
samples sample acquired
availableasallefficienttoolto and various onnano-
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