纳米氧化锡气敏材料及传感器阵列研究进展.pdfVIP

第21卷 第 3期 无 机 材 料 学报 Vo1．21，No．3 2006年 5月 JournalofInorganicMaterials May，2006 文章编号：1000—324X(2006)03—0521—06 纳米氧化锡气敏材料及其传感器阵列的研究进展 龚树萍，刘 欢，周东祥 (华中科技大学 电子科学与技术系敏感陶瓷教育部工程研究中心，武汉 430074) 摘 要：对纳米氧化锡气敏材料的理论及应用研 究进行了综合性阐述，重点介绍了运用纳米技 术和薄膜技术制备氧化锡气体传感器的研究进展，并讨论了氧化锡气体传感阵列在电子鼻智能 嗅觉系统中的应用现状和前景． 关 键 词t纳米氧化锡；气体传感器；薄膜；阵列；电子鼻 中图分类号tTP212 文献标识码：A 1 引言 作为最早实现商品化的气体传感器，氧化锡 (Sn02)气敏器件有着灵敏度高、响应速度 快、成本低廉等优异性能，迄今依然占据着气体传感器市场的主流地位 ．它广泛用于可燃 性气体如天然气 (主成分为 CH4)、液化石油气 (LPG，主成分为 C3Hs和 C4Hl0)、C2H2和 H2等气体的检测．随着人们生活水平的提高和对环境污染 问题的 日益重视， Sn02气体传 感器的检测对象已扩展到CO、H2S、NH3、NO2、NO、S02等毒害性气体．近年来， 纳米技术给氧化锡气体传感器带来了新的机遇，研究发现 1【】．当材料晶粒尺寸减小到 20nm 甚至 10nm 以下时，Sn02气敏特性显著提高．纳米 SnO2气敏器件具有更高的灵敏度和较 低的工作温度，有可能在常温下即可检测气体浓度的瞬间或微量变化 2[】j从而有望进一步提 高器件实用化程度并拓展新的应用领域． 另一方面，随着仿生学和信号处理技术的迅速发展，人们很快认识到可以选用多个不 尽相同的气体传感器构成传感阵列，并结合模式识别技术来检测同时存在的各种气体 3【】j从 而弥补单个传感器选择性和稳定性较差等缺点．这种智能型阵列化嗅觉系统 (俗称为 “电子 鼻”)最早 由英 国Warwick大学的Persaud和Dodd[J共同提出并发表于 1982年的 “Nature” 杂志，随即引起 了科研人员的广泛关注，它预示着气体传感技术将 向小型化、集成化和智 能化方 向发展． Sn02是一种普敏气敏材料，通过掺杂改性或控制工作温度等能够改变其 对 目标气体的灵敏度，很适合用于 电子鼻中气体传感器阵列的制备．目前在对 电子鼻的研 究中，Sn02气体传感器阵列通常有两种构造方式，一种是 以商售或 自制的气体传感器为基 本单元，将多个这样的分立器件按某种方式组合在一起构成传感器阵列 (”arraysofdiscrete devices”)L5 ；另一种方式则是利用薄厚膜技术和微 电子工艺，在 同一个衬底上集成多个 收稿 日期： 2005--05—23，收到修改稿 日期 。2005~)6—27 基金项且 国家863计划项 目(2004AA32G090)；武汉市科技攻关计划项 目 (20041003068) 作者简介 龚树萍 (1947一)，女，教授，博士生导师． E-mail：spgong@mail．hust．edu．ca 522 无 机材 料学 报 SnO2传感器形成阵列 (“integratedarrays”) 这种集成方式的研究还处于起步阶段，但它 具有功耗低、体积小、集成度高等优势，必将成为 SnO2气体传感器阵列的主流发展方 向． 2 纳米 SnO。气敏机理研究 目前关于 SnO2材料的气敏机理众说纷芸，具有代表性的主要有能级生成理论、表面空 间电荷层模型和晶界势垒模型，以及双功能模型 2【1g】等．其 中，双功能模型能够较好地解释 当晶粒尺寸减小到某一临界值以下时，Sn02 材料气敏特性显著提高的原因．该模型认为， ‘ 1。 r ● 曩 ： SnO2金属氧化物半导体气敏材料有两种功