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第23 卷第1期 压 电 与 声 光 . 23 . 1
V o l N o
2001 年2 月 P IEZO EL ECTR ICS A COU STOO PT ICS Feb. 2001
文章编号:(2001)
微细金属图形制作中的剥离技术
王文如, 杨正兵
( 四川压电与声光技术研究所, 重庆 400060)
摘 要: 介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求, 同时简述了常用的几种剥离方法、简单
原理及一些具体应用实例。
关键词: 剥离; 剥离方法; 实例
中图分类号: TN 3057 文献标识码: A
- -
L if t off Techn iques Applyed in F ine line M eta l Pa ttern Fabr ica tion
- , -
W ANG W en ru YANG Zheng bing
( , 400060, )
Sichuan Institute of P iezoeectric and A coustoop tic T echno logy Chongqing Ch ina
:
Abstract T he basic requirem ents of lift off technique app lyied in fine line m etal pattern fabrication are in tro
. , .
duced in th is paper Several commonly used lift off m ethods p rincip les and their app lications are also given
: ; ;
Key words lift off lift off m ethods examp le
良的线宽控制。这对那些要求具有高分辨率又不易
1 引言
用刻蚀法形成金属图形的器件, 采用剥离技术进行
利用剥离技术制作微细金属的图形, 在微米、亚 金属化更为合适。虽然图 1 显示的是单层光刻胶作
微米范围内是一种有生命力和有价值的技术。采用 为剥离掩膜, 而事实上为了精确而有效控制图形尺
剥离技术制作细线条电极图形的优点在于不需要购 寸, 往往是双层组合在一起作为剥离掩膜。这种技术
置象干法刻蚀这样十分昂贵的设备, 投资较少, 金属 不局限于制作金属图形, 也可用于制作多种薄膜。剥
图形制作过程
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