4参数式传感器及应用.ppt

①传感器是测量装置，能完成检测任务； ②输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等； ③输出量是某种物理量，便于传输、转换、处理、显示等，可以是气、光、电物理量，主要是电物理量； ④输出输入有对应关系，且应有一定的精确程度。 ③四臂工作：设R1、R3产生正ΔR的变化，R2、R4产生负ΔR的变化，且ΔR绝对值相等，即R1、R3产生正应变，R2、R4产生负应变，且应变的绝对值相等，则电桥的输出 即为单臂工作的4倍。 不同的电桥接法，输出电压不同，全桥接法可获得最大的 输出，其灵敏度最高。 不同的交流电桥 一般将传感器接成差动形式 提高测量灵敏度 减小非线性误差 减小外界干扰 减小电磁吸力的影响 应用 表面形貌仪 T200型表面粗糙度测量仪 测量范围：触针位移：±2/±20/±200μm 分辨率： 0.001/0.01μm 在测试中经常采用的措施： 差动型 差动式原理： 差动变隙式由两个电气参数和磁路完全相同的线圈组成。 当被测量通过导杆使衔铁左右位移时，两个回路中磁阻发生大小相等、方向相反的变化，形成差动形式。 双螺管线圈差动型传感器及测量电路 螺管线圈差动 线圈电感L1、L2随铁芯位移而 变化，并作为电桥两个相邻桥臂。 双螺管线圈差动型，较之单螺 管线圈型有较高灵敏度及线性。 用于电感测微计上， 其 测量范围为0～300μm 最小分辨力为0.5μm （三）测量电路 1、交流电桥 交流电桥是自感传感器的主要测量电路，为了提高灵敏度，改善线性度，自感线圈一般接成差动形式。 交流电桥结构示意图 等效电路 该电桥结构简单，其电阻R3、R4可用两个电阻和一个电位器组成，调零方便。 因 输出电压为： 可见电桥输出电压UAC与气隙变量Δσ有关 代入 电桥输出为： 2、变压器式交流电桥 电桥的两臂是传感器线圈阻抗臂、另外两个臂是交流变压器次级线圈各占1∕2，交流供电。 桥路输出电压为： 衔铁上下移动相同距离时，输出电压大小相等方向相差180o， 要判断衔铁方向就是判断信号相位。 为了判别交流信号的相位，需接入专门的相敏检波电路。 当衔铁在中间位置 Z1=Z2=Z U0=0 当衔铁偏移时输出电压 当衔铁偏向另一方向 3、谐振式（调幅、调频） 调幅式电路 输出幅值随电感L变化 调频电路 电感L变化时谐振频率变化 压力测量 被测压力经位移——电压两次转换输出 电感式接近传感器（金属） 二、差动变压器（互感式） 把被测的非电量变化转换成为线圈互感量的变化的传感器。 （一）结构原理与等效电路 分气隙型和差动变压器两种。目前多采用螺管型差动变压器。 1 初级线圈;2.3次级线圈;4衔铁 1 2 4 3 1 2 3 (a)气隙型 (b)螺管型 基本元件有衔铁、初级线圈、次级线圈和线圈框架等。 初级线圈作为差动变压器激励用，相当于变压器的原边，而次级线圈由结构尺寸和参数相同的两个线圈反相串接而成，相当于变压器的副边。 等效电路： 两个次级线圈必须反相串联，保证差动形式。 如果线圈完全对称并且衔铁处于中间位置时两线圈 互感系数相等 电动势相等 差动输出电压为零： 可见: 输出电压大小和符号反映 了铁心位移的大小和方向。 若衔铁上移 若衔铁下移 当衔铁上下移动时，输出电压随衔铁位移变化。 由此得到输出电压有效值为 ： 可见输出电压与互感的差值有关 根据电磁感应定律，次级感应电动势分别为 铁芯向右移， 输出与E2a同极性； 铁芯向左移， 输出与E2b同极性； 输出电压的幅值取决于线圈 互感即衔铁在线圈中移动的 距离X。Uo与Ui的相位由衔 铁的移动方向决定。 零点残余电压 由于两个次级线圈绕组电气系数 （M互感 L电感 R内阻）不同，几何尺寸工艺上很难保证完全相同 又因初级线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素。 实际的特性曲线，在零点上总有一个最小的输出电压（从零点几mV到数十mV ），这个铁芯处于中间位置时最小不为零的电压称为零点残余电压。 零点残余电压的存在造成零点附近的不灵敏区； 零点残余电压输入放大器内会使放大