双腔串联两阀与三阀压电泵性能的研究.pdfVIP

第15卷第2期 光学精密工程 V01．15No．2 and Precision 2007年2月 ()ptics Engineering Feb．2007 文章编号 1004—924X(2007)020219—05 双腔串联两阀与三阀压电泵的性能研究 杨志目01，孙晓锋1’2，张德君1，程光明1，李欣欣1 (1．吉林大学机械科学与工程学院，吉林长春130025 2．吉林化工学院机电工程系，吉林吉林132022) 摘要：研究了双腔串联两阀压电泵与三阀压电泵的输出性能，分析了这两种泵的结构和工作原理，理论分析得出：三阀泵 输出性能优于两阀泵。设计制作了两阀泵与三阀泵实验样机，并通过实验测试证明了理论分析的正确性。分别对两阀 泵和三阀泵进口腔和出口腔独立工作时流量输出进行了实验测试，并把进口腔和出口腔独立工作时输出流量相加之和， 与两腔一起交叉工作时进行了比较。实验测试表明：两阀泵和三阀泵样机在200V交流驱动电压下，最大输出流量分别 035 为972ml／min和1ml／min，最大输出压力分别为28．7kPa和40kPa，最大自吸高度分别为o．41m和o．43 m水柱高。 关键词：压电振子；双腔压电泵；阀 中图分类号：TH38；TN384文献标识码：A Perfl0Irmanceresearch0ndouble—valvedandthree—valved withdoubleseries—woundchambers piezoelectricpumps YANG Xin_xinl Zhi—gan91，SUNXiao～fen91～，ZHANGDe—junl，CHENGGuang—min91，LI SciP以c8n”d (1．CoZZPgPo厂MPf五n7zic以Z E挖gi咒PP，．i行g，JiZj”Lkiugr5ify， C^“咒gf^“”130022，C矗i”n；2．D已p以r￡7咒P”芒。厂M8f矗n￡ro咒ifE卵gi竹PPri，zg， ．，iZi咒J”sfifM￡8 ol，’C^PmifnZTPc矗竹oZogy，‘，iZi竹132022，C矗i咒以) the andstructuresof and double—valvedthree—valved Abstract：Byanalyzingworkingprinciples piezoe— lectric withdoubleseries—woundchambers，itwas thatthe ofthreevalved pumps output proved ability isbetterthanthatofdouble—valvedTo thetheoretical pump pump． explain analyis，thepumpsamples were andmanufactued，se