原创力文档- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
24 4 V ol1 24, N o1 4
2009 8 Chinese J our nal of L iqu id Cry st als and Displays A ug . , 2009
1007- 27 80 ( 2009) 04-0522- 0 6
掺杂氧化锌薄膜的最新进展
*
刘 波, 赵小如 , 冯娴娴, 刘 凯, 赵 亮
( , 7 10072, E- mail lbs pinach@ 126. com)
( Zn O) ( T CO) ,
( I T O) T CO ,
Zn O
, Zn O n p ,
; ; ;
T N 304. 2+ 1 A
80% ,
1 引 言 [ 12]
, D. R. Sh au
ZnO n , ZA O ;
Zn 4 I. S. K im[ 13] A g- Zn O,
O , , O p n
4 Zn Zn O n p
Z nO Zn 4 ,
O ,
O , O Zn
, 2 Zn O 的n 型掺杂
, Zn Zn O ,
, Zn 3+
; A l , Z nO
, , A l3+
ZnO Zn O , 1 ,
n p n , , ,
3+
Zn OBA l ( ZA O) , n Zn O ,
[ 1- 5]
Zn O 3. 37 eV , ,
3 @ 10- 2 8 #cm, A l , , ,
10- 4 8 #cm , A l ZnO ZA O
ZnO , ZA O IT O ( In2 O3 B
80% [ 6, 7] p Sn) ,
[ 8- 11] [ 14]
文档评论（0）