金刚石薄膜残余应力的X射线透射测量法.pdfVIP

第 23 卷第 6 期 　　　　　　　　　物理测试 　 Vol . 23 ,No . 6 2005 年 11 月 　 　 　　　　　　　　　　　Phy sics Examination and Testing 　 Nov . 2005 金刚石薄膜残余应力的 X 射线透射测量法 朱宏喜 , 　毛卫民 , 　冯惠平 (北京科技大学材料学院 ,北京 100083) 摘 　要 :用 X 射线衍射透射法测量了不同沉积工艺 CVD 自支撑金刚石薄膜的残余应力 ,并对应力测试结果进行 初步分析 。与常规法相比,透射法直接测量薄膜表面不同方向的正应变 ,计算出正应力值 ,不需要复杂的转换计 算 ,测量过程简捷 、准确 ,克服了常规法的不足 ,有利于推动薄膜残余应力的研究 。 关键词 :金刚石薄膜 ;残余应力 ;X 射线透射法 中图分类号 : T G115 . 22 　　文献标识码 :A 　　文章编号 : 100 10777 (2005) 06002 104 Measurement of Residual Stress in Diamond Fil m by Xray Transmission Method ZHU Hon gxi , 　MA O Weimin , 　F EN G Huip ing (U niver sit y of Science and Technolo gy Beij ing ,Beij ing 100083 ,China) Abstract :The residual stress of CVD diamond films with different depo sition p rocess parameter s was measured by Xray transmission method , and analyzed. Compared to conventional Xray method , t he Xray transmission method can directly measure the normal strain in different directions and calculate the normal stress without complicated transfer calculation. The Xray transmission method is a simple and accurate way to determine the residual stress , which overcome the short age of conventional method , and can be used to improve the residual stress research of thin films. Key words :diamond film ;residual st ress ;Xray t ran smi ssion met hod 　　金刚石薄膜具有优异的力学 、电子 、光学和热学 的应力会使晶格常数发生变化 ,根据晶格畸变量和 性质 ,在高技术领域具有广泛的应用前景[ 1 ,2 ] 。近年 虎克定律可以计算出薄膜的残余应力 。图 1 是 X 射 ( ) 来 ,化学气相沉积 CVD 自支撑金刚石薄膜的制备 线衍射常规法测量应力示意图。