AZO薄膜溶胶-凝胶制备与氮气热处理.pdfVIP

AZO 薄膜的溶胶-凝胶制备与氮气热处理 金巨江，靳正国 天津大学材料学院，天津 (300072) E-mail ：j3inuiang@163.com 摘 要：本文通过Sol-Gel 法制备了透明导电AZO 薄膜，在氮气气氛下对薄膜进行了300℃1 个小时的热处理。XPS 、XRD 、SEM、UV-Vis 和四探针仪表征了薄膜的结构与性能。结果 表明，适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率。掺杂量对薄膜 在可见光范围内透射率影响不大，可见光透射率均大于 80%。低温氮气热处理可以显著提 高薄膜电导率，方阻最低可达270Ω/□。 关键词：sol-gel 法，AZO ，透射率，电导率，方阻 1. 引言 ZnO是一种直接带隙的宽禁带半导体材料，室温下的禁带宽度为3.25eV，激子束缚能高 达60meV 。ZnO薄膜具有成本低廉、无毒、热稳定性高等优点，在短波长发光和激光器件等 方面有着广泛的应用前景。在氧化锌薄膜中掺入铝、锂、氟[4]等杂质，可以有效的提高薄膜 [1] 的电导率，改善薄膜的性能 。 [2] [3] 据报道，ZnO 薄膜的制备方法很多，主要包括：溅射法 ，脉冲激光沉积法 ，喷雾热 [4] [5] [6] [7] 分解 ，化学气相沉积法 ，分子束外延法 和溶胶—凝胶法 等。溶胶-凝胶方法具有方法 简便、不需特殊设备，后处理温度低、对衬底要求比较宽，组成掺杂和厚度容易控制、廉价 和适于制备大面积薄膜等优点，是ZnO 薄膜制备研究方法的热点之一。AZO 薄膜是一种透 明导电膜，在可见光范围内具有很高的透过性(T%80)，近中红外光范围内具有很高的反射 率(R%60)及优良的导电性(pl0-3Ω·cm)等。因此该薄膜具有与ITO(In O ：Sn)薄膜相比拟的 2 3 光学和电学特性，而且制备工艺简单、价格低、无毒和稳定性好等性能特征，逐渐成为ITO 薄膜的最佳替代材料，并作为新一代透明导电材料引起广泛的关注。 本文主要研究了sol-gel 法ZnO 薄膜的Al 掺杂改性，低温氮气气氛处理对薄膜性能的影 响以及AZO 薄膜空气下的性能-温度稳定性。 2. 实验过程 2.1 试剂原料 实验使用原料：二水醋酸锌(C H Zn ·2H O) 、单乙醇胺(H NCH CH OH) 、乙二醇甲醚 4 6 2 2 2 2 2 (CH OCH CH OH)、Al(NO ) ·9H O、无水乙醇和去离子水。所有原料都为分析纯（AR ）， 3 2 2 3 3 2 使用前未做预处理。 2.2 溶胶制膜过程的化学反应 实验以C H Zn ·2H O 为锌源，H NCH CH OH 为稳定剂，CH OCH CH OH 为溶剂来 4 6 2 2 2 2 2 3 2 2 制备溶胶。C H Zn ·2H O 中的水分子是通过C=O 键中的O 和Zn （CH3COO ） 连在一起， 4 6 2 2 2 醋酸锌水解是反应的前提条件。反应式[8]如下： O H O H O H C C O Zn O C CH H C C O Zn + O C CH + 2H + 2OH 3