电泳沉积MoS2固体润滑膜的研究.pdfVIP

维普资讯 8一弓 真空与低温 第 5卷第 2期 Vacuum ＆ Cryogenics 1999年 6月 电泳沉积 MoS 固体润滑膜研究 魏 杰 ．任 妮 f兰州@ ~ 0ooo) (收稿 日期 1999—03—09) ／~f,22 RESEARCH oN ELECTRoPHoRETIC DEPoSrTIoN Q 1 FILM LUBRICANT CoATINGS W et．1le，RenNi (LanzhouInstituteofPhysics，Lanzhou730000) Abstract：T paperintroduceselectrophoreticdepositionofMoS mm；anaIyzesmainparameter fectingelectrophoreticdepositionof M film Experimentof testingtheperformanceof M0s2film iscon— ducted Keyword：electrophorel[c，deposition，MoS2，film，lubricant 摘 要：介绍了MoS薄膜的电泳沉积方法；分析了影响电泳沉积的主要参数；进行了薄膜性能 删关羹键词：勰积 中图分类号；TQ0287 ， 嚣娥 一舶 1 引 言 MoS2薄膜用于固体润滑剂 已有很长 的历史。实验测得 ：Mo 能提供极低的摩擦系数 这和 它 的微结构是有关系的 MoS 晶体是六方层状 晶体结构 ，这种结构允许在低应力 的一庸况下晶 格有少量 的偏移 ；而且 ，MoS 晶体的各个 晶面之间存在弱的范 氏力 ，晶面之间较易发生位移 ， 故 MoS：薄膜具有优 良的润滑性能 。MoS薄膜 的润滑性能受温度变化 的影 响不大 ，且它在真空 环境下，出气量少，磨损少 ，摩擦系数更低 。所以，它在航天领域有相当重要的应用 ，如卫星某 些部件表面的防冷焊薄膜等 过去很长一段时间里 ，制备 Mos2薄膜的方法主要是真空等离子溅射技术 。这种方法能严 格控制薄膜 的厚度 ，且能提供较好 的薄膜性能 。但是 ，它存在一些 比较严重 的缺 点： 1)它对溅射靶的质量要求相当严格 ，一般在生产高质量 的薄膜之前需要更换一个新靶 ，耗 费较 大 ； 2)相对于特殊形状 的基底需配置相应配套 的溅射靶 ，且为沉积形状复杂 的薄膜而采用 的 复杂的真空设备及其过程 的耗 费相 当大 ； 3)溅射法制备的薄膜较理想的保存方法是硫化处理，但这会使薄膜表面产生许多小孔，易 受化学侵蚀 ，导致薄膜 的性能下降； 维普资讯 魏 杰等 电泳沉积 Mo 固体润滑膜研究 89 4)不适合于沉积形状复杂 、大面积薄膜等 由于存在 以上缺点 ，所 以人们开始寻求一种更好 的方法来制备 NoS：薄膜 ，电泳法 由此受 到更广泛地重视和研究 。 电泳法始用 于本世 纪6O年代 。当时美国福 特公司在汽车工业首先 应用这项技术 ，由于发 展极快 ，后被推广至建 材、仪表、轻工、家电等 行业 。到 8O年代末期 ， 电泳法在功能性薄膜领 域 的应用得到发展 ，已 出现润滑膜 、电绝缘膜 、 弹性膜等 ，适用于各种 金属及其镀层 。 日本的 图 1电泳沉积方法示 意图