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第 2 1 卷 第 8 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 2 1 N o . 8
2008 年 8 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS Au g . 2008
Theoretical Analysis and Numerical Simulation of ClosedLoop
SelfOscillation System f or MEMS Vibratory Gyroscopes
WA N G Z h anf ei , L U Weng ao , L I Feng , L I Z h ihong
( )
I ns t it ute of M icroelect ronics , N at ional Key L aboratory of M icro/ N ano Fabricat ion Technology , Pek i ng Uni vers ity , B eij i ng 10087 1 , Chi na
( )
Abstract :We analyze selfo scillation sy st em wit h A GC auto matic gain cont rol for M EM S vibratory gyro
scop e s u sing averagin g an d p ha sep lane t echnique s , and p re sent analytical equatio n s for sy st em de sign .
N umerical simulation s are imp lement ed , and t he simulation re sult s show a goo d agreement wit h t he analyt
ical re sult s. In our selfO scillation drive sy st em , t he st able er ror of t he o scillation amp lit ude i s eliminat ed
by t he P I cont roller . The analytical equation s can be u sed to direct t he de sign of t he clo sedloop drive sy s
t em in har dware .
Key words :SelfO scillation , M EM S Gyro scop e , A GC ; P I cont roller
EEACC :7630
MEMS 振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真
王展飞 ,鲁文高 ,李 峰 ,李志宏
(北京大学微电子学研究院微米/ 纳米加工技术国家重点实验室 ,北京 10087 1)
( )
摘 要 :对采用 A GC automatic gain cont rol 控制实现的陀螺闭环自激驱动系统进行了理论分析 ,利
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