Ipsu薄膜体声波器件及其在通信系统中的应用.pdfVIP

维普资讯 2007年 12月 四川大学学报 (自然科学版) Dec．2007 第44卷第6期 JournalofSichuanUniversity(NaturalScienceEdition) VO1．44 NO．6 文章编号：0490—6756(2007)06．1235—04 Ipsu薄膜体声波器件及其在通信系统中的应用 吴 勇，吴孟强，蒋松涛，钟朝位，张树人 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 610054) 摘 要：薄膜体声波谐振器(FBAR)采用一种先进的谐振技术，它是通过压电薄膜的逆压电效 应将电能量转换成声波而形成谐振，这一谐振技术可以用来制作薄膜频率整形器件等先进元 器件．本文系统介绍了FBAR的结构、工作原理及其在现代通信系统中的应用． 关键词 ：FBAR；谐振器；4g荡器；滤波器；x~_r-ga 中图分类号：TN911 文献标识码 ：A Thinfilm bulkacousticwavedevicesandtheirapplications intelecommunicationsystems WU Yong，WUMeng—qiang，JIANGSong-tao，ZHONGChao-wei，ZHANGSh 一ren (StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevicm，UniversityofElectronic ScienceandTcehnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：AFilmBulkAcousticResonators(FBARs)isabreakthroughresonatortechnologybasedonare— versepiezoelectriceffectthatoccurswhenallelectricsignalappliesonapiezoelectricthinfilm ，transformsto anacousticwave，andaccordinglyfomr sresonation．Thistechnologycanbeemployedtocreateadvancedfre— quencyshapingcomponentsnaddevicesincludingfilters，duplexers，andresonatorsforoscillators．Thestruc— tures，theworkingmechanismsofFBARsareintroducedin thispaper，nadtheirapplicationsintomodern telecommunicationsystems arealos reviewed． Keywords：FBAR，resonator，oscillator，filter，duplexers 的基础．薄膜体声波谐振器具有谐振频率高(可达 1 引 言 20G)、损耗低、体积小、温度系数小等优点 2【l，而 随着现代通信系统向高频、低功耗及小型化与 且可以与半导体 Si工艺兼容，能直接集成在 IC 便携式方向发展，人们对通信系统所用器件也提出 上，因此，薄膜体声波谐振器在通信领域中显示出 了新的要求，从而促使人们不断去研究高性能的材 广泛的应用前景．鼓舞人心的是，利用薄膜体声波 料并构建新型结构的器件．近年来，随着 I、伍MS加 谐振技术制作出的振荡器、滤波器、双工器等多种 工技术的成熟，使得构造新型的器件结构成为可 高性能、小体积表面贴装型器件，已成功地运用于 能，同时现代功能薄膜材料的制备手段与工艺技术 现代通信系统中．本文在介绍薄膜体声波谐振技术 日臻完善，使人们容易制备出高