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第19卷第4期 材料科学与工程 总第76期
V01．19．No．4 Materials Dec2001
ScienceEngineering
文章路号：1004-793X[2001)04-0132．06
纳米薄膜材料的研究进展
邱成军“2，曹茂盛2”，朱静3，杨慧静2
1．黑龙江大学电子工程学院；2．哈尔滨工程大学材料系．哈尔滨150001
3．清华大学材料院。北京l∞啮41
【摘要】纳米薄膜材料是一种新型材料．由于其特殊的结构特点，使其作为功能材料和结构
材料都具有良好的发展前景。本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展，包括
对该类材料的制备方法、徽结构、电、磁、光特性以及力学性能的最新研究成果。
【美鲁词】纳米薄膜；薄膜制备；微结构；性能
中圈分类号：TB34 文献标识码：A
NewResearch onNano·scaleThinFilms
Progress
QIUCheng-junl一，CAOMao-shen92一，ZHUJian93，YANGHui-jin92
of
(1_Instituteelectron
EⅡ蛳ri_堆．HegongilangUniver菇ty，chi岫；
2．DepartmentofMateHalo，Harbin 150001，China；
EngineeringUniversity．Harbin
3．InstituteofMaterinio，T姐huaQinghnaUniveristy．Beiii雌100084，China)
film has both
isa[tow it awide asfunc—
【Almract】Nano-thintypeofmaterial，and ofpotential
range applications
as
tionalmaterialsandstructuralmaterialsinthefutureTheadvancementofllanothinfilminthewoddisreviewed．which
includesthe thethin of and
technologyof”parillgfilm，itsmicrosucture_theelectricity，magneticopities．and
properties
mechanical
properties．
of
wordsJHano—thin thin
【Key film；preparation
film
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