微悬臂梁法向弹性系数标定方法与分析.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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微悬臂梁法向弹性系数标定方法与分析.pdf

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2006 年第 20 卷第 1 期测试技术学报 . 20　 . 1　2006 V o l N o (总第 55 期) JO URNAL O F TEST AND M EA SUREM ENT TECHNOLO GY (Sum N o. 55) 文章编号: 167 17449 (2006) 0 1002 106 微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析鲍海飞, 李昕欣, 王跃林 ( 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室, 上海 200050) 摘　要: 　微机械加工制造的微悬臂梁探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用, 作为原子力显微镜中的关键核心组件, 微悬臂探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色. 目前, 尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成为一个重要的平台. 除了尺度测量外, 当人们对表面力和原子间的相互作用力需要更准确和绝对的数值时, 需要对微悬臂的弹性系数进行准确的标定, 弹性系数的测量精度影响测量力学量的最终结果. 本文对目前发展起来的几种标定方法, 如参考悬臂梁的标定方法、悬臂梁的共振法和悬臂梁的热噪声振动法, 从原理上和试验上进行总结和分析, 对相应测试方法和影响测试精度的相关因素进行评述. 关键词: 　微悬臂梁探针; 标定; 原子力显微镜; 微机电系统中图分类号: 　TH 742　　文献标识码: A Norma l Spr in g Con stan t Ca l ibra t ion M ethods an d Ana ly sis of M icrocan t ilever , , BA O H a i fei L I X in x in W AN G Yu e lin ( , N at ion a l Key L abo rato r ie s o f T ran sdu cer T echno logy Sh angh a i In st itu te o f M icro sy stem an d In fo rm at ion T echno logy, Ch in e se A cadem y o f Scien ce s, Sh angh a i 200050, Ch in a) : 　