用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石_0112_晶面上生长ZnO薄膜研究.pdfVIP

第 48 卷 第 5 期 1999 年 5 月 物 　理 　学 　报 Vol. 48 ,No. 5 ,May ,1999 ( ) 1999/ 48 05 / 095506 ACTA PHYSICA SIN ICA 1999 Chin. Phys. Soc. 研究快讯 用微波 ECR 等离子体溅射法在蓝宝石 ( 0112) 晶面上生长 ZnO 薄膜的研究 汪建华 　袁润章 (武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室 ,武汉　430070) 邬钦崇 　任兆杏 ( 中国科学院等离子体物理研究所,合肥　230031) ( ) 1998 年 6 月 12 日收到;1998 年 11 月 27 日收到修改稿 　　蓝宝石上外延生长 ZnO 薄膜在表面波和声光