我国等离子体工艺的研究进展3.pdfVIP

知识和进展 我国等离子体工艺研究进展 吴 　承 　康 ( 中国科学院力学研究所　北京　100080) 摘 　要 　　扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展. 内容包括:热等离子体源 ,等离子冶金、 化工、超细粉合成、喷涂 ;低气压非平衡等离子体源 ,镀膜 ,表面改性 ,等离子浸没离子注入 ; 电晕放电,介 质阻挡放电 ,滑动弧等及其应用. 当前 ,各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃. 关键词 　　等离子体工艺 ,热等离子体 ,非平衡等离子体 PLASMA PROCESSING RESEARCH IN CHINA Wu Chengkang ( ) Instit ute of Mechanics , The Chinese Academy of Sciences , Beijin g 　100080 Abstract 　　A summary is presented of recent research on plasma processing in China ,including thermal plasma sources ,plasma metallurgy and chemical engineering ,synthesis of ultra fine powders , spraying ,cold plasma sources ,deposition ,surface modification ,ion plating , plasma immersed ion im plantation ,corona discharge ,dielectric barrier discharge ,the gliding arc and related appliations. It ap pears that the deposition of thin films and surface modification are the most active areas at present . Key words 　　plasma processing ,thermal plasmas ,nonequilibrium plasmas ( 　　60 年代初 ,我国的等离子体技术研究 低 ) 温等离子体及其应用 随着航天技术中材料试 1 　热等离子体 验的需求而发展 , 当时主要是电弧等离子体技 术. 70 年代开始了各种热等离子体材料加工技 11 　热等离子体源与基础研究 术研究 ,80 年代 ,低气压等离子体技术研究普 60 年代初 ,随着空间技术对再入大气层防 遍开展. 80 年代以来 , 国内多次举办了全国和 热材料筛选和气动加热模拟的需求 ,发展了电 国际的等离子体科学技术会议 ,例如 ,1997 年 弧等离子体发生器及相关的测量手段. 这些设 在北京召开的第 13 届国际等离子体化学会议 备现已发展到数十兆瓦 , 附有现代化的测量控 ( ISPC - 13) 是一次成功的国内外同行们交流 制系统 ,工业用的直流或交流非转移弧等离子 学习的盛会[1 ] . 本文扼要综述近年来国内等离 体发生器已发展至数百千瓦 ,冶金用的转移弧 子体加工工艺研究工作的开展情况 ,包括热等 发生器功率可达数兆瓦. 离子体、低气压非平衡等离子体和高气压非平