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传感器技术及应用机械09 2011~2012第二学期 2012年3月 3.5 电涡流式传感器 工作原理:利用电涡流效应进行工作。 优点:结构简单、灵敏度高、频响范围宽、不受油污等介质的影响,能进行非接触测量。 应用:位移、振动、厚度、转速、温度、硬度等参数测量,无损探伤。 3.5.1 工作原理 通以交变电流 i1 的传感器线圈,其周围产生一个交变磁场H1。 使该磁场范围内的被测导体内产生电涡流 i2 i2将产生一个新磁场H2 等效电路分析 解之得: 受涡电流影响后测量线圈的阻抗Z 等效阻抗Z 由于涡电流影响,测量线圈阻抗实部增大,虚部减小,变化部分称为“反射阻抗”。与互感系数M的平方成正比。 测量线圈的等效电阻R 受涡电流影响,Q下降 测量线圈的品质因数Q 单一材料 测量原理:控制其中某一个参数改变,余者皆不变,就能构成测量该参数的传感器 3.5.2 电涡流传感器结构类型 2、透射式 组成:发射线圈L1,接收线圈L2 金属板材工件厚h 低频激励电压U1,频率f 利用感应电压U2测量板厚h 电涡流贯穿深度 测量厚板时,采用低频激励(1kHz左右) 贯穿深度t较大,线性好 3.5.3 测量电路 LRC电路 谐振条件 电抗X 谐振X=0 3.5.3 测量电路 定频调幅电路 无工件时处于谐振,U0 接近工件时,回路失谐 传感器接入振荡器 无工件时,处于最佳Q值 测量时,L变化,谐振频率变化,品质因数Q降低 3.5.4 涡电流式传感器的应用 1、测位移 2、侧厚度 3、测温度 工作原理:被测导体的电阻率随温度变化。 电涡流传感器产品 大量电涡流程传感器 直径50mm、60mm电涡流, 量程可达25mm、50mm 一体化电涡流位移传感器 直径8mm 、11mm 前置器内置, 应用于径向振动、轴向位移、转速和偏心测量 传感器探头与前置器的连接 End 传感器技术及应用 第3章 变磁阻式 电涡流式传感器 工作原理 等效电路 等效阻抗Z 等效电感L 品质因数Q 测量原理 结构类型 反射式 透射式 测量电路 RLC电路 定频调幅电路 变频调幅电路 调频电路 电涡流传感器应用 测位移 测厚度 测温度 * * H2与H1方向相反,力图削弱原磁场H1,从而导致线圈的电感L 、阻抗 Z 和品质因数 Q 发生变化。 列电压平衡方程: 其中被测导体短路环的阻抗: 测量线圈的 等效电感L 测量线圈的等效阻抗Z 被测工件 几何形状(S,A) 材质:?,? 线圈电感L 线圈阻抗Z 线圈品质因数Q 电流的频率 “测量线圈-工件”耦合 两者间距离 x 互感系数M, 磁路Rm 线圈的几何参数W,S,l 参数之间的关系 导体 几何形状(S,A) 材质:?,? 线圈电感L 线圈阻抗Z 品质因数Q 测距 探伤 材质检测 测厚 距离 x 被测量 电桥电路 谐振电路 Q值测试电路 1、反射式 对被测体的要求 电导率高 磁导率低 h U2 0 若两线圈间无金属导体,L1的磁场能直接贯穿L2.感应电压U2最大。 t1t2t3 t1 t2 t3 h U2 薄板测量时,宜采用较高频率激励 贯穿深度t较小,曲线斜率较大,灵敏度高 阻抗Z i 输出电压——变频调幅 输出频率——变频电路
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