Si基SiO2波导芯层热应力理论的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ ９ 犞狅犾．２８ 犖狅．９ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ ９ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犛犲．２００７ 狆 基 波导芯层热应力的理论研究 犛犻 犛犻犗２ ， ，， ， 黄华茂１２ 黄德修１２ 刘 文１３ 　 　 　 （ 武汉光电国家实验室，武汉 ） １ ４３００７４ 　 （ 华中科技大学光电子科学与工程学院，武汉 ） ２ ４３００７４ 　 （ 武汉光迅科技有限责任公司，武汉 ） ３ ４３００７４ 　 摘要：结合弹性多层板热应力理论和应力集中效应给出了 基 波导芯层热应力的解析解，推导了芯层应力 犛犻 犛犻犗２ 差的解析表达式 说明对于传统阵列波导光栅，芯层应力差来源于初始翘曲和波导各层热膨胀系数差；系统分析了 ． 波导各层材料对芯层应力差的影响，指出调节衬底的热膨胀系数、上包层的热膨胀系数、衬底的厚度和下包层的厚 度都可以消除芯层应力差，但改变衬底和上包层热膨胀系数是调节芯层应力差的主要手段；讨论了几种常见金属 应力板对芯层应力差的影响 结果表明，在阵列波导底部高温粘贴适当厚度的金属板可消除芯层应力差 ． ． 关键词：光波导；热应力；弹性多层板；应力集中；应力板 ： ； 犈犈犃犆犆 ４１３０ ６２４０犇 中图分类号： ＋ 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖８１４ ６ 犃 ０２５３４１７７２００７０９１４５９０６ 　　　 　　　 １ 引言 　 近年来阵列波导光栅（ ）已逐渐成为大容 犃犠犌 ［］ １ 量密集波分复用（ ）系统的首选器件 热应 犇犠犇犕