一种用于提取超大规模集成电路电容新型库查找法.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ １１ 犞狅犾．２８ 犖狅．１１ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ １１ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犖狅狏．２００７ 一种用于提取超大规模集成电路电容的 新型库查找法 赵 鹏 张 杰 陈抗生 王浩刚 　 　 　 　 　 （浙江大学信息与电子工程学系，杭州 ３１００２７） 　 摘要：提出了八种节点电容典型结构用以建立电容模型库，并阐明了这八种结构可以提取大多数 犞犔犛犐互连线的 电容参数，给出了这些结构的拟合公式 采用该库查找法计算的互连线电容结果与 所得结果非常吻合 由 ． 犉犪狊狋犆犪狆 ． 于电容是直接代入拟合公式计算得到的，所以计算速度非常快． 关键词：库查找法；多层；犞犔犛犐互连线；互连线电容 ： ； ； 犈犈犃犆犆 １１３０犅 ２５７０犃 １１１０ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖４０５９７ 犃 ０２５３４１７７２００７１１１７９４０９ 　　　 　　　 分析模型建库和电容宏模型建库，并给出了一种对 引言 复杂三维互连结构宏模型建库的解决方法 对于分 １ ． 　 ［ ］ １３ 析模型建库， 等人 用了很少的模型来建模， 犛犻犿 在 犞犔犛犐电路里，金属线排布得非常密，而且是 建库非常快，但是这种模型只考虑目标线周围很少 多层布线的 在 的 工艺中，存在 邻线效应，电容结果可能不准确；文献［ ， ］同样 ． ０１８犿 犆犕犗犛 ６ １０１４ μ 层金属互连层和 层多晶硅，而英特尔 工艺 存在这个问题，当目标线周围邻线排布较密时，邻线 １ ６５狀犿 ［］ ［ ］ １