超大规模集成电路互连系统布线构造对散热影响英文.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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超大规模集成电路互连系统布线构造对散热影响英文.pdf

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第 27 卷　第 3 期半　导　体　学　报 Vol . 27 　No . 3 2006 年 3 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Mar . ,2006 Influence of Interconnection Conf iguration on Thermal Dissipation of ULSI Interconnect Systems Xiao Xia1 , , Yao Suying1 , an d Ruan Gang2 ( ) 1 Center of A S I C , S chool of Elect ronic an d I nf orm at ion Eng i neeri ng , Ti anj i n Uni vers i ty , Ti anj i n 　300072 , Chi na ( ) 2 S chool of I nf orm at ion S cience an d Eng i neeri ng , F u d an Uni vers ity , S hang hai 　200433 , Chi na Abstract : Th e ef f ects of a dj acent m et al layers a n d sp ace bet w ee n m et al li nes on t h e t emp er at ur e rise of mult ilevel U L SI int er c on n ect lin es ar e invest igat e d by m odeling a t h r eel ayer i nt er c on nect . Th e h e at dissip at i on of vari ous m et alliz at i on t ec h n ol ogies c oncer nin g t h e met al a n d l ow k dielect ric emp l oym ent is si mulat e d in det ail . Th e J oule h e at ge ner at e d in t h e int er c on nect is t r a nsf er r e d m ainly t h r ough t h e m et al lin es i n e ach m et al layer a n d t h r oug