氮气光谱计算模拟及在放电等离子体诊断中应用.pdfVIP

氮气光谱的计算模拟及其在放电等离子体诊断中的应用 氮气光谱的计算模拟 及其在放电等离子体诊断中的应用 98 物理 糜岚 一. 引言 1.1 氮化物与氮气放电 氮化物由于具有许多特殊的物理化学性质 多年来一直是材料科学十分关注的领域 近年来 由于科学家首先在理论上预言 -C N 的硬度能超过金刚石而使之成为一个新的研 3 4 究热点 另一方面 在光电子材料领域 族氮化物 如 AIN GaN InN 等 由于具有较宽 的直接能隙[1] 6.28eV 3.4eV 1.9eV 较高的热导率和化学稳定性 因此成为短波长光 器件理想的选择对象 也成为迅速发展的研究领域 在氮化物合成过程中 由于原子态的氮比分子态的氮具有更高的化学活性 因而在氮 化物形成中起着重要作用 气体放电是获得原子态氮的一个很好的途径 在用离子注入方法 制备氮化物时 也采用放电方法来产生氮离子 因此 各种放电方法 如微波放电 射频放 电 直流辉光放电 空心阴极放电 快脉冲放电和弧光放电等 被广泛用于氮化物的制备 1.2 放电等离子体的光谱诊断[2][3] 等离子体是由大量正负带电粒子和中性粒子组成的 并表现出集体行为的一种准中性 气体 是物质在高温或特定激励下的一种物质状态 是除固态 液态和气态以外 物质的第 四种状态 放电等离子体中原子态氮含量以及其他的一些物理参数 是制备氮化物的重要信 息 不同放电方法产生的等离子体 由于内部过程不同 性质也有很大差异 本文研究的主 要是空心阴极放电与直流辉光放电产生的等离子体 原则上 等离子体发射光谱能提供离子体温度 离子浓度 激发和电离的状态 以及 化学组成等重要信息 而且发射光谱测量技术是一种无干扰的测量 所以被广泛应用于等离 子体的诊断 放电等离子体的光谱诊断就是通过获得的光谱数据 对等离子体参量进行推算 一般 有以下几种方法[4] 1. 利用原子线状谱线的多普勒展宽计算原子的温度 2. 利用分子带状光谱确定等离子体温度 3. 利用光谱线相对强度估算等离子体温度 4. 根据谱线展宽计算电子浓度 5. 根据可分辩谱线极限估计电子浓度 1.3 本文的主要内容 在本文中 我们测量了氮气空心阴极放电和高压脉冲放电的光谱 通过氮分子和离子 转动光谱的计算模拟 对等离子体的温度进行了分析 二. 分子光谱振动转动结构的理论知识[5] 2.1 谱线波数的计算 对应于两个电子态之间的跃迁的那些谱线的波数由下式给出 =T-T=(T -T )+(G-G) +(F-F) (2.1) e e 分别对应电子 振动和转动跃迁 式中带单撇的字母指较高态 带双撇的字母指较低态 按 方程 2.1 可把发射或吸收频率看作三个组成部分之和 134 复旦大学 政学者论文集 2002 = e+ v+ r (2.2) 对于给定的电子跃迁 = T -T 是常数 分别为振动项和转动项