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Chapter 5
Chapter 5
微機電材料
微機電材料
92(2) MOEMS Mechatronic Engineering, HFU 1
92(2) MOEMS Mechatronic Engineering, HFU 1
大綱
大綱
1. 晶體結構
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2. 基板/塊材材料
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3. 薄/厚膜材料
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4. 微感測材料
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5. 微致動材料
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6. 封裝材料
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7. 材料分析
7. 材料分析
92(2) MOEMS Mechatronic Engineering, HFU 2
92(2) MOEMS Mechatronic Engineering, HFU 2
5-1
5-1
晶體結構
晶體結構
92(2) MOEMS Mechatronic Engineering, HFU 3
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七大晶系、十四種晶格類型
七大晶系、十四種晶格類型
晶體系統
晶軸長度和夾角關係 實例
(布拉格晶格)
立方晶系 三等軸, 三直角 Au, Cu, NaCl,
(簡單立方, 體心立方, 面心立方) a=b=c, α= β= γ=90o Si, GaAs
正交晶系 a ≠b≠c, α= β= γ=90o Ga, Fe C
3
(簡單正交, 體心正交, 面心正交, 基心正交)
四方晶系 a=b ≠c, α= β= γ=90o In, TiO2
(簡單四方, 體心四方)
六方晶系 o o
a=b ≠c, α= β=90 , γ=120 Zn, Mg
(簡單六方)
菱形晶系 a=b=c, α≠β≠γ Hg, Bi
(簡單菱形)
單斜晶系 o o
a=b=c, α= γ=90 , β≠90 KClO3
(簡單單斜, 體心單斜)
三斜晶系 a ≠b≠c, α≠β≠γ Al SiO
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