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压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量 第六图书馆 提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的 PV(Peak Valley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析 ,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad(0.2^n),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大 ,产生的误差越大,但其相对误差小于1%。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8的角分 辨率的要求。提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜 子面形精度的PV(Peak Valley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测 量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad(0.2^n),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关 ,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜 (EUT)0.8的角分辨率的要求。极紫外太阳望远镜 ZYGO干涉仪 压电陶瓷转动平台 转角精度光学精密工程高亮 阚珊珊 李敏 尼启良 陈波 [1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033 [2]中国科学院研究生院,北京1000392007第六图书馆 第六图书馆 第 15卷 第 2期 光学 精密工程 Vol_15 No．2 2007年 2月 OpticsandPrecisionEngineering Feb．2007 文章编号 1004924X(2007)02—0206—06 压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量 高 亮 ，阚珊珊 ，李 敏 ，尼启良，陈 波 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏 转前后镜子面形精度的PV(PeakValley)值，=者的差值除以待测标准平面镜的直径，其结果近似等于压电陶瓷转动平 台转动的角度。通过测量与误差分析，验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于 1 rad(0．2”)，而测量的总误差和压 电 陶瓷转动平台移动的角度大小有关，移动距离越大，产生的误差越大，但其相对误差小于 1 。本测量方法证明压电陶 瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0+8”的角分辨率的要求。 关 键 词 ：极紫外太 阳望远镜 ；ZYGO干涉仪 ；压电陶瓷转动平 台；转角精度 中图分类号：TH751；TB92 文献标识码 ：A Rotation。。angle-accuracymeasurementofpiezotiltplatform GAOLiang ，KAN Shan—shan ，LIMin ，NIQi—liang 。CHENBo 第六图书馆 (1．StateKeyLaboratoryoJAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，Fine MechanicsandPhysics，ChineseAcademyofScience，Changchun130033，China；2．Graduateschool oftheChineseAcademytlScience，Beijing100039，China) Abstract：A sub—arcsecond—accuracymethodformeasuringrotation—anglewasprop