【论文】兰州化物所研制成功纳米厚度薄膜摩擦学性能评价装置.pdfVIP

蠢 成果简报c。。。。岫。 ■责编 ：文 亚 兰州化物所研制成功纳米厚度薄膜摩擦学性能评价装置 在 中国科 学院的大力支持 下，中科院兰州化学物理研究所低 维材料摩擦学课题组研制成功纳米 厚度薄膜摩擦学性能评价装置。该 装置具有5～10度倾斜角度、微牛 顿和毫牛顿级载荷、纳米尺度位移 的精确控制功能，能够在超低载 荷、大运动速度条件下实现微摩 擦 微粘着、延长摩擦学寿命等性 能的评价，达到国际先进水平o 2009年11月19日通过了中国科学 院计划财务局组织的中国科学院重 大科研装备研制项目验收0 1～lofl~米厚度的超硬薄膜以 及1～2纳米厚度的润滑耐膜已经在 微机 电系统 (MEMS)、超高密 度磁盘、高精密器件等高技术领域 得到广泛应用，这些纳米厚度润滑 薄膜都需要进行力学和摩擦学性能 的评估，而传统的常规仪器不能满 南京工大产学研合作开发成功纳米新材料 目前 ，这一专利已经在密友集团实现了产业化， 成功制备出纳米粉体 ，主要有纳米金属银、镍、铜、 南京工业大学和江苏省高新技术企业密友集团在